张胜泉
- 作品数：4 被引量：21H指数：2
- 供职机构：天津大学机械工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金天津市科技攻关计划天津市科技攻关项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺理学一般工业技术机械工程更多>>
- 基于音圈电机精密定位平台的控制系统设计与仿真被引量：18
- 2007年
- 针对一类音圈电机直接驱动的二自由度高速精密定位平台,为了在高速高加速情况下,获得良好的动态特性,对其动力学控制方法进行研究.构建了基于音圈电机的x向定位平台的机电耦合动力学模型,并基于此对平台的控制器进行设计,最终得到一种鲁棒性强、易于实现的控制器.该控制器由内环的电流控制器和外环的位置控制器、前置滤波器、前馈控制器、重复控制器和扰动观测器组成.理论分析和仿真实验证明,该控制器能较好地改善此类平台的动态特性,具有调节时间短、无超调和动态响应准确快速等优点,并能够有效提高系统的抗干扰和高频振动能力,所得结论对此类平台控制器的设计具有一定指导意义.
- 赵兴玉张胜泉张大卫
- 关键词：音圈电机干扰观测器
- 面向IC封装的两自由度精密气浮定位平台设计被引量：2
- 2007年
- 为提高引线键合机定位机构的运动速度和定位精度,提出了一种基于气浮导轨支撑的两自由度高速精密定位平台.该平台采用了新型的气浮解耦机构,使音圈电机置于固定支座上,有效地减小了定位平台的运动惯量.阐述了该气浮平台的解耦原理,探讨了节流孔直径和轴径间隙对平台承载能力和静态刚度的影响规律,同时得到一组优化参数.在此基础上对平台的运动稳定性进行深入分析,该平台在给定的初始条件下可快速趋于稳定,所得结论为该类气浮定位平台的设计提供了一定的理论基础。
- 张大卫张胜泉赵兴玉王福军
- 关键词：气浮导轨
- 面向IC封装的高速精密定位系统设计与研究
- 本文结合面向IC封装的高速精密定位系统的开发,对所研发的两自由度高速精密定位平台的动态性能进行了详尽的试验分析,并对音圈电机直驱的高速精密定位平台的动力学控制算法及气浮技术等进行深入研究,全文工作和取得的成果如下:
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- 张胜泉
- 关键词：控制器引线键合
- 文献传递
- 面向IC封装的两自由度气浮精密定位平台
- 本发明属于MEMS加工制造领域。面向IC封装的两自由度气浮精密定位平台，采用X向直线音圈电机驱动解耦平台，通过气浮解耦机构驱动X向定位平台沿X向运动。Y向定位平台通过Y向气浮导轨与基座连接，X向定位平台置于Y向定位平台上...
- 张大卫张胜泉赵兴玉武一民
- 文献传递
