李小明
- 作品数：10 被引量：8H指数：1
- 供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程理学一般工业技术更多>>
- 硅纳米线光栅谐振增强型光电探测器及其制作方法
- 一种硅纳米线光栅谐振增强型光电探测器，包括：一硅衬底；一氧化硅层，该氧化硅层制作在硅衬底上；一工形台面结构，该工形台面结构制作在氧化硅层上，该工形台面结构的两端为P型电极和N型电极，该P型电极和N型电极之间连接有硅纳米线...
- 韩伟华陈燕坤李小明张严波杜彦东杨富华
- 文献传递
- 硅基太阳电池的表面纳米织构及制备被引量：1
- 2012年
- 综述了用于硅基太阳电池高效陷光的四种表面纳米织构,即金属纳米颗粒、纳米线、纳米锥和纳米孔。相对于其他三种表面纳米织构,纳米孔具有更好的结构特性和陷光能力。详细介绍了各种表面纳米织构的制备方法,如金属薄膜退火、金属诱导化学腐蚀、干法刻蚀、深紫外光刻和纳米球光刻等。通过表面纳米织构提高效率是太阳电池领域的重点研究内容。表面纳米织构以其优异的光电特性,将在未来高效光伏器件中得到重要应用。
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- 关键词：金属纳米颗粒纳米线纳米孔
- 突破衍射极限的表面等离子体激元被引量：6
- 2011年
- 表面等离子体激元是外部电磁场诱导金属表面自由电子的集体共振,产生沿金属-介质界面传输的表面波,具有亚波长局域、近场增强和新颖的色散特性,在纳米光子学中发挥着重要的角色。利用表面等离子体激元构成的光学器件能够突破衍射极限,实现微电子与光子在同一个芯片上的集成。系统介绍了表面等离子体激元的基本原理,及其在光波导、探测器、调制器和太阳能电池等方面的重要应用。
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- 关键词：表面等离子体激元纳米光子学
- 聚光硅纳米孔阵列结构太阳能电池及其制备方法
- 一种聚光硅纳米孔阵列结构太阳能电池，包括：一Al/Si合金背电极；一p<Sup>+</Sup>背接触层，位于Al/Si合金背电极的上面；一p型晶硅材料层，位于p<Sup>+</Sup>背接触层的上面；一n<Sup>+</...
- 韩伟华陈艳坤李小明杨富华
- 半导体晶体管结构及其制造方法
- 一种半导体晶体管结构，包括：一绝缘体上硅，该绝缘体上硅包括埋氧层和顶层硅，该顶层硅的中间有一凹部，该凹部两侧分别为顶层硅的源区和漏区，该源区和漏区之间通过多个硅鳍状结构连接形成沟道，该顶层硅的源区、漏区和硅鳍状结构为同一...
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- 纳米MOSFET的多栅结构和应变硅纳米线结构被引量：1
- 2011年
- 介绍了在进入22nm技术节点后MOSFET器件的两个发展方向,即多栅结构和应变硅纳米线结构。首先通过分析特征长度与有效栅极数量的关系,表明多栅结构器件可以有效增强栅极对沟道的控制,抑制短沟道效应,接近理想的亚阈值斜率;然后分析了应变对能带结构的影响,从理论上论述了应变沟道可以显著提高载流子迁移率;最后介绍了悬浮硅纳米线通过热氧化诱导形成应变沟道的方法,并对应力来源进行了分析。纳米结构CMOS晶体管由平面沟道结构向立体沟道结构转变,将成为器件未来主流的发展方向。
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- 关键词：场效应晶体管硅纳米线
- 一种基于体硅材料的无结硅纳米线晶体管及其制备方法
- 本发明公开了一种基于体硅材料的无结硅纳米线晶体管及其制备方法。该无结硅纳米线晶体管包括：一体硅衬底，在体硅衬底上制作一P型或N型掺杂层，在该P型或N型掺杂层上制作一掺杂类型与之相反的N型或P型掺杂层，不同类型的掺杂层构成...
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- 文献传递
- 聚光硅纳米孔阵列结构太阳能电池及其制备方法
- 一种聚光硅纳米孔阵列结构太阳能电池，包括：一Al/Si合金背电极；一p<Sup>+</Sup>背接触层，位于Al/Si合金背电极的上面；一p型晶硅材料层，位于p<Sup>+</Sup>背接触层的上面；一n<Sup>+</...
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- 文献传递
- 半导体晶体管结构及其制造方法
- 一种半导体晶体管结构，包括：一绝缘体上硅，该绝缘体上硅包括埋氧层和顶层硅，该顶层硅的中间有一凹部，该凹部两侧分别为顶层硅的源区和漏区，该源区和漏区之间通过多个硅鳍状结构连接形成沟道，该顶层硅的源区、漏区和硅鳍状结构为同一...
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- 文献传递
- 硅纳米线光栅谐振增强型光电探测器及其制作方法
- 一种硅纳米线光栅谐振增强型光电探测器，包括：一硅衬底；一氧化硅层，该氧化硅层制作在硅衬底上；一工形台面结构，该工形台面结构制作在氧化硅层上，该工形台面结构的两端为P型电极和N型电极，该P型电极和N型电极之间连接有硅纳米线...
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