徐亮
- 作品数：6 被引量：13H指数：2
- 供职机构：浙江大学机械工程学系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金浙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学一般工业技术电子电信更多>>
- 平面型无阀微泵流固耦合模态分析被引量：3
- 2009年
- 为研究平面型无阀微泵工作时的振动特性,分析了湿模态法提取泵膜流固耦合模态的过程,并利用ANSYS建立了泵膜-腔内流体耦合的有限元模型,通过结构模态分析中的非对称法提取了泵膜的无阻尼湿模态,得到了微泵结构尺寸和腔内流体压力对泵膜湿模态的影响。结果显示,湿模态频率相对干模态频率有大幅度地下降,振型类似;湿模态频率随着泵腔高度的增加而逐渐增大;在微泵工作压力范围内,腔内流体压力对湿模态没有影响。
- 李俊应济沈雪明徐亮
- 关键词：无阀微泵流固耦合模态分析有限元法
- 静电微泵吸合与释放特性研究被引量：2
- 2011年
- 为避免静电微泵因驱动电压过高而出现吸合现象,建立描述静电泵膜吸合与释放现象的一维集中质量模型、二维分布式模型和三维有限元模型,对比研究静电致动泵膜在准静态下吸合与释放的循环过程,获得整个循环过程的泵膜挠曲线变化、泵腔体积变形、电容变化等大量的数据与曲线。比较结果表明,二维分布式模型求解效果最好,并利用三维有限元模型和宏模型的计算结果,验证该模型在泵膜大变形下计算吸合过程的准确性,获得的吸合电压为确定静电微泵驱动电压的上限值提供有效依据。
- 应济李俊王硕徐亮
- 关键词：微泵吸合
- 基于MEMS的扩张管／收缩管内流动特性分析被引量：6
- 2008年
- 扩张管/收缩管作为无阀微泵的关键组件,其结构参数直接影响微泵的泵送效率和工作性能。本文作者利用有限元软件ANSYS/Flotran对扩张管和收缩管内流体进行了数值模拟,结果表明:在不同的进出口压差下效率随扩张角的变化趋势不同;扩张管无论是在高压下还是低压下,都会出现压力复现,而分离流动和回流只会出现在高压或较大扩张角的情况下;收缩管内流体流动稳定,则不会出现压力复现、分离流动和回流。
- 李俊沈雪明应济徐亮
- 关键词：微机电系统无阀微泵数值模拟
- 面向微流控芯片的压电无阀微泵的研究
- 微流控芯片是微全分析系统中的重要组成部分,它以微机电技术为基础,具有液体流动可控、消耗试样和试剂极少、分析速度快等特点,在生物医学检测、药物合成及成分鉴定、微量药物控释和化学分析等领域有广泛的应用前景。作为微流控芯片的动...
- 徐亮
- 关键词：无阀微泵压电驱动湿法刻蚀微流控芯片
- 文献传递
- 基于模态叠加法的静电微泵吸合现象被引量：1
- 2010年
- 利用数值计算和模态叠加法建立了静电致动泵膜的降阶模型,使复杂的吸合过程求解简单化。通过与已有文献中的结果和三维有限元计算值的比较,表明降阶模型能减少求解时间并且具有很高的精度。利用降阶模型参数化研究了残余应力、泵膜厚度、泵膜半径、极板初始间隙对泵膜吸合电压和吸合位置的影响,得到了泵膜设计的准则,为静电微泵的优化设计提供理论基础。
- 应济李俊林谢昭徐亮
- 关键词：微泵吸合静电降阶模型
- 一种低成本压电无阀微泵的研制被引量：2
- 2011年
- 提出了一种低成本的由压电材料驱动的平面扩张/收缩管无阀微泵的制作工艺。通过数值模拟确定了扩张/收缩管扩张角的最优值,在此基础上,采用光刻和湿法刻蚀工艺,刻蚀了300μm深的泵腔基片和100μm深的盖片;使用等离子体清洗技术将其与PDMS薄膜键合,完成了可以实现单向泵送的压电无阀微泵样机制作。研究了该压电无阀微泵样机的性能,分别分析了压电振子的激励频率、电压和微泵背压对其流量的影响。实验结果表明:在100 V,110 Hz交流方波电压信号的作用下,微泵有最大输出流量为436μL/min,最大背压为620 Pa。
- 徐亮应济李俊
- 关键词：无阀微泵湿法刻蚀
