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熊敏

作品数：50 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国科学院“百人计划”更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 47篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 11篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 32篇探测器
  • 27篇红外
  • 26篇红外探测
  • 26篇红外探测器
  • 24篇电极
  • 19篇衬底
  • 17篇晶格
  • 16篇势垒
  • 16篇势垒层
  • 14篇超晶格
  • 9篇半导体
  • 8篇锑化物
  • 6篇刻蚀
  • 6篇光谱
  • 4篇电学隔离
  • 4篇异质结
  • 4篇空穴
  • 4篇红外光
  • 4篇红外光谱
  • 4篇红外光谱仪

机构

  • 50篇中国科学院
  • 1篇南京理工大学
  • 1篇西安交通大学
  • 1篇苏州工业园区...

作者

  • 50篇熊敏
  • 23篇黄勇
  • 20篇张宝顺
  • 17篇赵宇
  • 13篇董旭
  • 10篇时文华
  • 7篇赵迎春
  • 6篇苏瑞巩
  • 6篇付凯
  • 5篇李海军
  • 4篇杨辉
  • 4篇李晓伟
  • 4篇周桃飞
  • 4篇崔志国
  • 3篇刘冬
  • 3篇杨乐臣
  • 2篇邢利敏
  • 2篇曾春红
  • 2篇张志强
  • 2篇黄宏娟

传媒

  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇红外技术

年份

  • 1篇2023
  • 3篇2022
  • 4篇2021
  • 8篇2020
  • 7篇2019
  • 6篇2018
  • 6篇2017
  • 5篇2016
  • 4篇2015
  • 3篇2013
  • 3篇2012
共 50 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
量子阱红外探测器的制作方法
本申请公开了一种量子阱红外探测器的制作方法，通过引入自对准工艺，完成探测器芯片的上电极制备与台面制备。其制作方法包括以下步骤：1、光栅光刻与刻蚀；2、通过光刻、电子束蒸发与剥离形成金属上电极；3、利用上电极金属作为掩膜，...
时文华缪小虎苏瑞巩熊敏张宝顺
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一种高灵敏度紫外探测器的制备方法
本发明揭示了一种高灵敏度紫外探测器的制备方法，该方法以调节宽禁带半导体的材料组分来实现对紫外波段的选择性探测。特别通过在该宽禁带半导体制备表面柱阵列结构，再采用紫外透光导电材料沉积并覆盖表面柱阵列结构区域作为肖特基接触电...
付凯李海军杨乐臣刘冬刘帆熊敏张宝顺
文献传递
红外探测器及其制作方法
本发明公开了一种红外探测器的制作方法，该制作方法包括：在N型衬底上形成探测器台面，探测器台面包括依序层叠形成在N型衬底上的N型InAsP/InAsSb超晶格吸收层、InPSb势垒层和N型InAsP/InAsSb超晶格接触...
赵宇吴启花黄勇熊敏
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红外探测器的光谱响应度的测量系统和测量方法
本发明公开一种红外探测器的光谱响应度的测量系统，其包括：红外光谱仪，用于提供宽谱红外光并对宽谱红外光进行聚焦；频谱仪，用于测量设置于宽谱红外光焦点位置处的待测红外探测器随频率f变化的电压信号S<Sub>DUT</Sub>...
熊敏董旭周桃飞时文华
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InAs/GaSb二类超晶格红外探测器的MOCVD生长和制备
锑化物InAs/GaSb二类超晶格探测器是继碲镉汞红外探测器,量子阱红外探测器之后兴起的高性能制冷型红外探测器,具有暗电流小、俄歇复合率低、波长调节范围大等优点.目前国内外的InAs/GaSb二类超晶格探测器均用MBE生...
黄勇吴启花赵宇熊敏赵迎春董旭张宝顺
关键词：红外探测器气相外延生长晶格结构性能表征
平面结构的锑化物二类超晶格红外探测器及其制备方法
本发明公开了一种平面结构的锑化物二类超晶格红外探测器，其包括沿设定方向依次分布的下电极、InAs/GaSb或InAs/InAsSb超晶格吸收层、InAs/GaSb超晶格或GaSb或GaAsSb接触层以及上电极，并且于所述...
黄勇熊敏
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半导体微台面列阵的测量装置和方法
本发明提出一种半导体微台面列阵的测量装置和方法，该方法基于宽谱热光源照明干涉仪的光学测量装置与方法，结合光学相干层析技术与衍射度量技术的特点，可无损、快速的测量微台面列阵的表面形貌并准确提取微台面列阵的周期、横向尺寸与深...
熊敏赵迎春董旭时文华张宝顺
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一种小面积图形刻蚀深度的测量方法
本发明公开了一种小面积图形刻蚀深度的测量方法，包括：提供一参考样品，设置多个面积不同的刻蚀参考区并进行刻蚀，测量刻蚀参考区的刻蚀面积与刻蚀速度，建立刻蚀面积与刻蚀速度的模型；提供一刻蚀衬底，设置第一刻蚀图形和第二刻蚀图形...
苏瑞巩缪小虎李晓伟时文华熊敏张宝顺
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一种用于离子注入的激光辅助装置及离子注入方法
本发明公开了一种用于离子注入的激光辅助装置，包括：激光器、透光窗、调光组件，离子束对第一区域进行离子注入时，第二激光器对第二区域进行加热；离子束对第二区域进行离子注入时，第一激光器对第一区域进行加热；第一区域或第二区域离...
赵迎春崔志国熊敏
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红外光探测器及其制备方法
本发明公开了一种红外光探测器，包括N型衬底；依序层叠设置在所述N型衬底上的N型超晶格吸收层、P型超晶格势垒层和P型超晶格接触层，所述P型超晶格势垒层和所述P型超晶格接触层中间隔的多个区域被注入离子，以形成多个接触所述N型...
黄勇赵宇熊敏吴启花
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