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文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇导电薄膜
  • 1篇低电阻率
  • 1篇电阻率
  • 1篇叠层
  • 1篇叠层结构
  • 1篇射频电源
  • 1篇透明导电
  • 1篇透明导电薄膜
  • 1篇光电
  • 1篇光电性
  • 1篇光电性能
  • 1篇层结构
  • 1篇抽真空

机构

  • 1篇上海理工大学

作者

  • 1篇王丽军
  • 1篇张大伟
  • 1篇王小平
  • 1篇林承军
  • 1篇苏德龙
  • 1篇王兆芳
  • 1篇管璐璐
  • 1篇柯小龙
  • 1篇宋明丽

年份

  • 1篇2016
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
一种ZnO/Mo/ZnO透明导电薄膜的制备方法
本发明提供了一种ZnO/Mo/ZnO透明导电薄膜的制备方法,室温下先将基片清洗,用氮气枪吹干;然后将ZnO靶材、Mo靶材和基片放入磁控溅射反应室,将反应室抽真空,打开温控电源,将基片加热,向反应室通入氩气和氧气的混合气,...
廉吉庆张大伟王小平王丽军王兆芳宁仁敏宋明丽柯小龙陈海将苏德龙管璐璐林承军
文献传递
共1页<1>
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