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裴风丽
作品数:
2
被引量:5
H指数:2
供职机构:
武汉大学物理科学与技术学院
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发文基金:
国家重点实验室开放基金
国家重点基础研究发展计划
国防基础科研计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
陈炳若
武汉大学物理科学与技术学院
冯震
中国电子科技集团第十三研究所
陈长清
武汉大学物理科学与技术学院
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文献类型
2篇
中文期刊文章
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2篇
电子电信
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氮化镓
1篇
电子迁移率
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电阻
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欧姆接触
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铝镓氮
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接触电阻
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晶体管
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蓝光LED
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ALGAN/...
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GAN基蓝光
1篇
GAN基蓝光...
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表面处理
1篇
触电
机构
2篇
武汉大学
1篇
中国电子科技...
作者
2篇
陈炳若
2篇
裴风丽
1篇
冯震
1篇
陈长清
传媒
1篇
半导体技术
1篇
半导体光电
年份
1篇
2007
1篇
2006
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2
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GaN蓝光LED电极接触电阻的优化
被引量:2
2006年
通过分析LED的工作电压和晶圆上两相邻N电极间电阻来讨论快速退火(RTA)和表面处理对GaN基蓝光LED接触电极的影响。研究了p-GaN表面处理对Ni/Au与p-GaN接触电阻的影响。结果表明,用KOH清洗p-GaN表面比用HCl清洗更能有效地改善Ni/Au与p-GaN的接触电阻。讨论了在氧和氮混合气氛下两种退火温度对P电极接触电阻的影响,当退火温度从570℃升到620℃时接触电阻升高。研究了氮气氛下不同退火温度和时间对LED电极接触的影响,发现在480℃下连续退火对N接触有利,但却使P接触变差,而450℃、10 min的氮气氛退火能同时得到较好P接触和N接触。
裴风丽
陈炳若
陈长清
关键词:
GAN基蓝光LED
接触电阻
RTA
表面处理
AlGaN/GaN HEMT欧姆接触的研究进展
被引量:3
2007年
从欧姆接触形成的机理出发,介绍了在AlGaN/GaN HEMT中实现源和漏区欧姆接触的各种方法,如表面处理技术、金属化系统和重掺杂技术等。回顾了近年来这些方法的研究进展。
裴风丽
冯震
陈炳若
关键词:
欧姆接触
高电子迁移率晶体管
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