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李俊磊
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
供职机构:
安徽大学物理与材料科学学院信息材料与器件安徽省重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
汪娴
安徽大学物理与材料科学学院信息...
宋学萍
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朱煜东
安徽大学物理与材料科学学院信息...
孙兆奇
安徽大学物理与材料科学学院信息...
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安徽大学学报...
年份
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2012
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射频磁控溅射制备CuAlO_2薄膜及性能表征
被引量:5
2012年
利用Al(OH)3和Cu2O高温固相反应烧结制备的靶材,采用射频磁控溅射法,在玻璃基片上制备非晶CuAlO2薄膜.薄膜的表面均匀,颗粒大小约为50 nm,可见光范围内透射率为60%,平均折射率达2.0,直接带隙为3.86 eV.随着在紫外光源下曝光时间的增加,薄膜的接触角从96.3°减小到87.5°,薄膜仍呈现出良好的疏水性.
孙兆奇
汪娴
李俊磊
朱煜东
宋学萍
关键词:
磁控溅射
浸润性
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