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张慧珍

作品数:6 被引量:4H指数:1
供职机构:中国科学院物理研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学一般工业技术农业科学环境科学与工程更多>>

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇环境科学与工...
  • 1篇农业科学
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 6篇石墨
  • 6篇石墨烯
  • 3篇带隙
  • 2篇单排孔
  • 2篇电子束抗蚀剂
  • 2篇电子束曝光
  • 2篇电子束曝光技...
  • 2篇定影
  • 2篇旋涂
  • 2篇阵列
  • 2篇阵列结构
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米带
  • 2篇抗蚀剂
  • 2篇并联
  • 2篇并联结构
  • 1篇第一性原理
  • 1篇第一性原理计...
  • 1篇第一性原理研...
  • 1篇掩模

机构

  • 6篇中国科学院
  • 1篇青岛大学

作者

  • 6篇顾长志
  • 6篇杨海方
  • 6篇张慧珍
  • 5篇唐成春
  • 5篇李俊杰
  • 2篇全保刚
  • 1篇李林
  • 1篇孟胜
  • 1篇吕文刚
  • 1篇孙家涛
  • 1篇李金涛

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 2篇2019
  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇2015
6 条 记 录,以下是 1-6
排序方式:
一种调控石墨烯带隙方法
本发明提供了一种调控石墨烯带隙方法,属于光电子技术领域,根据本发明提供的调控石墨烯带隙方法制备的石墨烯条带器件,能够在较宽的宽度下能有效的打开石墨烯的带隙;通过在石墨烯条带上制备单排孔阵列结构,且制备的石墨烯条带结构为多...
顾长志张慧珍杨海方唐成春李俊杰
文献传递
石墨烯纳米结构的制备及带隙调控研究被引量:4
2017年
石墨烯在未来微电子学领域有极大的应用前景,但是其零带隙的特点阻碍了石墨烯在半导体领域的应用.研究发现,打开室温下可用的石墨烯带隙所需要的石墨烯纳米结构尺度在10 nm以下,这一尺度的纳米结构一方面制备比较困难,另一方面器件可承载的驱动电流较小.因此,如何实现亚10 nm石墨烯纳米结构的有效加工以及如何在有效调控带隙的基础上增大石墨烯器件可承载的驱动电流,还需要进一步的研究.本文首先研究了利用聚甲基丙烯酸甲酯/铬(PMMA/Cr)双层结构工艺,通过刻蚀时间的控制,利用电子束曝光及刻蚀工艺实现了亚10 nm石墨烯纳米结构的可控制备.同时设计并制备了单排孔石墨烯条带结构,该结构打开的带隙远大于相同特征宽度石墨烯纳米带所能打开带隙的大小.该结构在有效打开石墨烯带隙的同时,增加了石墨烯纳米结构可以承载的驱动电流,有利于石墨烯在未来微电子领域的应用.
张慧珍李金涛吕文刚杨海方唐成春顾长志李俊杰
关键词:石墨烯
石墨烯孔上悬浮单层铁膜在自旋电子学方面的第一性原理研究
除了在传统电学领域的优异表现,在自旋电子学方面,以石墨烯为基础的自旋电子器件由于其极低的功耗、较快的传输存储速度等,引起了人们的强烈关注.过渡金属元素掺杂使石墨烯在自旋电子学方面的应用成为可能1,2.在电子束辐照下,石墨...
张慧珍孙家涛杨海方李林付会霞孟胜顾长志
关键词:铁掺杂第一性原理计算应力自旋电子学
一种制备纳米尺度的石墨烯结构的方法
本发明提供了一种制备纳米尺度的石墨烯结构的方法,涉及石墨烯半导体器件领域。该方法具体步骤包括:在具有衬底的石墨烯表面蒸镀金属铬膜;在金属铬膜表面旋涂电子束抗蚀剂;采用电子束曝光技术,在电子束抗蚀剂上曝光相应的图形,并经显...
顾长志张慧珍杨海方唐成春全保刚李俊杰
文献传递
一种调控石墨烯带隙方法
本发明提供了一种调控石墨烯带隙方法,属于光电子技术领域,根据本发明提供的调控石墨烯带隙方法制备的石墨烯条带器件,能够在较宽的宽度下能有效的打开石墨烯的带隙;通过在石墨烯条带上制备单排孔阵列结构,且制备的石墨烯条带结构为多...
顾长志张慧珍杨海方唐成春李俊杰
文献传递
一种制备纳米尺度的石墨烯结构的方法
本发明提供了一种制备纳米尺度的石墨烯结构的方法,涉及石墨烯半导体器件领域。该方法具体步骤包括:在具有衬底的石墨烯表面蒸镀金属铬膜;在金属铬膜表面旋涂电子束抗蚀剂;采用电子束曝光技术,在电子束抗蚀剂上曝光相应的图形,并经显...
顾长志张慧珍杨海方唐成春全保刚李俊杰
文献传递
共1页<1>
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