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周浩

作品数:1 被引量:1H指数:1
供职机构:合肥工业大学仪器科学与光电工程学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:一般工业技术机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇定位控制
  • 1篇控制系统
  • 1篇PID
  • 1篇BPNN
  • 1篇长行程

机构

  • 1篇合肥工业大学

作者

  • 1篇王呐
  • 1篇周浩
  • 1篇张晴

传媒

  • 1篇计测技术

年份

  • 1篇2013
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
复合控制模式的长行程纳米定位控制系统被引量:1
2013年
提出一种基于BPNN-PID(Back Propagation Neural Network PID)的纳米定位控制系统。该系统包括驱动平台的超音波马达HR4及其驱动器AB2,共平面二维平台,及作为各轴位移反馈的多自由度传感器MDFS(Multi Degrees of Freedom Sensor)。超音波马达HR4及其驱动器AB2提供三种驱动模式(AC,Gate和DC模式)来适应不同的行程、速度和分辨力要求;AC模式下使用BPNN-PID控制速度,Gate模式下使用简单的比例PID控制步距,DC模式下重新使用BPNN-PID来锁定平台位置以达到准确定位。以SIOS SP-2000激光干涉仪作为位移基准搭建实验系统进行精度校正。实验表明:该系统在全程20 mm的行程内,定位误差在10 nm以内,标准差小于5 nm。
张晴王呐周浩
关键词:定位控制
共1页<1>
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