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万颖
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
华润上华科技股份有限公司
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相关领域:
电子电信
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华润上华科技...
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1篇
万颖
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电子与封装
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1篇
2008
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E^2PROM工艺的ESD保护电路失效分析
被引量:1
2008年
ESD保护电路已经成为集成电路不可或缺的组成部分,如何避免由ESD应力导致的保护电路的击穿已经成为CMOSIC设计过程中一个棘手的问题。光发射显微镜利用了IC芯片失效点所产生的显微红外发光现象可以对失效部位进行定位,结合版图分析以及微分析技术,如扫描电子显微镜SEM、微红外发光显示设备EMMI等的应用可以揭示ESD保护电路的失效原因及机理。文章通过对一组击穿失效的E2PROM工艺的ESD保护电路实际案例的分析和研究,介绍了几种分析工具,并且在ESD失效机制的基础上,提出了改进ESD保护电路的设计途径。
易峰
万颖
关键词:
静电放电
保护元件
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