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王会婷

作品数：1 被引量：12H指数：1
供职机构：西安工业大学光电工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇抛光
  • 1篇抛光表面
  • 1篇光学
  • 1篇亚表面

机构

  • 1篇西安工业大学

作者

  • 1篇党娟娟
  • 1篇王春慧
  • 1篇田爱玲
  • 1篇王会婷

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
抛光表面的亚表层损伤检测方法研究被引量：12
2013年
光学元件磨削加工引入的亚表面损伤威胁着光学元件的使用性能及寿命,成为现阶段高能激光发展的瓶颈问题,特别是抛光表面光学元件的亚表面损伤检测已成为光学元件制造行业的研究热点和难点.本文结合光学共聚焦成像、层析技术、显微光学、光学散射以及微弱信号处理等技术,给出了基于光学共焦层析显微成像的光学元件亚表面损伤检测方法.分析了不同针孔大小对测量准确度的影响,并首次给出了亚表面损伤的纵向截面分布图.与腐蚀法比较结果显示:针对自行加工的同一片K9玻璃,采用本文提出的方法测得的亚表面损伤深度45μm左右;采用化学腐蚀处理技术,对光学元件逐层刻蚀,观察得到的亚表面损伤深度50～55μm.两者基本一致,进一步验证了本文采用的方法可以实现对光学元件亚表面损伤的定量、非破坏检测.
田爱玲王会婷党娟娟王春慧
关键词：抛光表面
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共1页<1>
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