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寇克瑜

作品数:1 被引量:1H指数:1
供职机构:北京交通大学理学院物理实验中心更多>>
发文基金:中央高校基本科研业务费专项资金北京市自然科学基金更多>>
相关领域:一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇氧含量
  • 1篇折射率
  • 1篇全反射
  • 1篇溅射
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射技术

机构

  • 1篇北京交通大学

作者

  • 1篇何帆
  • 1篇朱亚彬
  • 1篇寇克瑜

传媒

  • 1篇实验技术与管...

年份

  • 1篇2012
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
双层透明薄膜制备及氧含量对折射率影响研究被引量:1
2012年
利用磁控溅射技术在玻璃基片上分别沉积ZnOx薄膜、TiO2-y薄膜和TiO2-y/ZnOx双层透明薄膜,改变薄膜沉积过程中的氩气(Ar)和氧气(O2)的比例,获得具有不同氧含量的ZnOx薄膜和TiO2-y薄膜。采用椭偏仪测定所有样品的折射率,仔细研究薄膜中氧含量对折射率的影响。分别选择具有较大的折射率TiO2-y薄膜和具有较小的折射率ZnOx薄膜的生长条件,制备TiO2-y/ZnOx双层薄膜,获得光密媒质/光疏媒质双层结构,并观察到He-Ne激光从ZnOx薄膜入射到TiO2-y/ZnOx界面上发生的全反射现象。研究成果适用于大学生物理实验中的研究型实验或大学创新实验。
朱亚彬寇克瑜何帆
关键词:磁控溅射技术全反射
共1页<1>
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