采用中温化学气相沉积（Medium Temperature Chemical Vapor Deposition MT-CVD）和高温化学气相沉积（High Temperature Chemical Vapor Deposition HT-CVD）在WC-Co硬质合金基体上沉积TiCN涂层。利用X射线衍射仪、扫描电镜表征涂层的显微组织结构,采用纳米压痕仪测试涂层的硬度,采用往复式多功能摩擦磨损试验机（UMT-3T）和表面轮廓仪研究MT-TiCN和HT-TiCN涂层的摩擦磨损性能。结果表明：HT-TiCN涂层比MT-TiCN涂层C/N比大,晶粒尺寸较小,硬度较高。MT-TiCN涂层表面晶粒呈透镜状,表面较为粗糙,摩擦系数较大。HT-TiCN涂层由透镜状晶粒和细小的等轴晶组成,表面较为光滑,摩擦系数较小。MTTiCN涂层磨损机制除磨粒磨损外,还包括粘着磨损和氧化磨损;HT-TiCN涂层磨损机制主要是磨粒磨损。HT-TiCN涂层晶粒形貌特殊、硬度较高、摩擦系数较小,因此,耐磨性比MT-TiCN涂层更好。
