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任卫

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：西北工业大学机电学院空天微纳系统教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇动态性能
  • 1篇动态压力测量
  • 1篇压力传感器
  • 1篇有限元
  • 1篇微型压力传感...
  • 1篇力传感器
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇西北工业大学

作者

  • 1篇马炳和
  • 1篇吕海峰
  • 1篇任卫

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
面向动态压力测量的微型压力传感器敏感结构被引量：2
2009年
围绕微型压力传感器的动态性能对压力敏感结构设计进行了研究。结合有限元分析,掌握了压阻式微型压力传感器的膜片形状、膜厚、膜片平面尺寸对于固有频率、灵敏度的影响规律,明确了固有频率、灵敏度与敏感结构形状尺寸间的关系。结合研发实例,利用时域暂态有限元分析,研究了不同厚度的正方形敏感膜片对于正弦、阶跃压力载荷的动态响应情况。研究表明,较小的敏感膜片平面尺寸、较大的膜片厚度有利于获得高的固有频率,从而得到较宽的工作频带、较快的响应速度。
任卫马炳和吕海峰
关键词：动态压力测量有限元微型压力传感器动态性能
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