陈新颖
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 供职机构：长春理工大学更多>>
- 发文基金：吉林省教育厅科研项目国家教育部博士点基金国际科技合作与交流专项项目更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 柔性衬底上AZO薄膜的生长及表征被引量：1
- 2013年
- 用原子层沉积方法在柔性PET衬底上制备了AZO(掺铝氧化锌)薄膜,研究了Al的掺杂对ZnO薄膜的形貌,光学性能和电学性能的影响,结果表明:当掺杂量约为3%的AZO薄膜表面比较平整,晶粒分布比较均匀,薄膜仍具有纤锌矿晶体结构,由于掺杂所引入的应力使得薄膜的C轴取向性有所退化;PL光谱表明,与带边相关的激子发射谱没有明显变化,但与缺陷相关的发光明显增强。同时HALL测试得到AZO薄膜载流子浓度相比ZnO薄膜提高了大约一个数量级(3%Al掺杂时,为3.62X1020),但迁移率有所降低(3%Al掺杂时为9.66cm2V-1S-1)。
- 李晓妮方铉陈新颖方芳魏志鹏李金华楚学影
- 关键词：ALDZNO薄膜柔性衬底
- 柔性衬底上ALD法低温制备的ZnO薄膜的光学和电学特性(英文)被引量：2
- 2012年
- 以二乙基锌和水分别作为金属前驱体和反应物,利用原子层沉积方法(ALD)在柔性衬底上生长ZnO薄膜,讨论了生长温度对薄膜特性的影响。用AFM、XRD和HALL等对薄膜的表面形貌、晶体结构和电学性质进行表征,并且用PL光谱表征了其光学特性。实验结果表明,随着生长温度(低温下)的升高,薄膜的晶体质量和光学特性得到改善。当生长温度为170℃时,薄膜呈现良好的c轴择优取向,且具有较高的电子浓度(5.62×1019cm-3)和电子迁移率(28.2 cm2·V-1·s-1)。
- 李晓妮方芳方铉陈新颖魏志鹏李金华楚学影王晓华
- 关键词：ZNOALD生长温度柔性衬底
