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双光子用小分子正性光刻胶的合成与评价: 飞秒激光双光子微纳加工是一种新的纳米加工技术，具有高精度、良好的空间分辨率和真三维加工能力的特点。近年来发展起来的小分子光刻胶相比传统的高分子光刻胶，具有分子尺寸小，加工分辨率高，线边缘粗糙度小等优点。本文设计并合成了杯...; 李浩金峰陈卫强赵震声段宣明; 关键词：感光材料芳烃衍生物

多光子光刻用的杯[4]芳烃分子玻璃正性光刻胶被引量：1: 2012年; 分子玻璃材料和多光子光刻技术分别是近年来光刻胶和光刻技术领域的研究热点.本文对分子玻璃正性光刻胶在多光子光刻中的应用进行了探索,设计合成了叔丁氧基羰基保护的杯[4]芳烃衍生物分子玻璃材料,将其作为主体材料与光生酸剂三氟甲磺酸三苯锍鎓盐进行复配,制备了分子玻璃正性光刻胶,探讨并优化了光刻胶的成分配比及其在紫外光曝光下的显影工艺.利用780nm波长飞秒激光对所制备的分子玻璃正性光刻胶进行了多光子光刻特性的评价,实验得到了最低线宽180nm的线条和复杂的二维微结构图形,结果表明杯[4]芳烃衍生物分子玻璃正性光刻胶有望应用于多光子光刻技术.; 李浩金峰陈卫强段宣明; 关键词：杯芳烃

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李浩