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曾明

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：广东工业大学机电工程学院更多>>
发文基金：广东省科技计划工业攻关项目博士科研启动基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石工具
  • 1篇硅片
  • 1篇刚石

机构

  • 1篇广东工业大学

作者

  • 1篇周玉梅
  • 1篇曾明
  • 1篇郭长文

传媒

  • 1篇超硬材料工程

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
固着磨料多线锯研究进展被引量：4
2007年
随着半导体工业的高速发展以及太阳能光电池产业的突起,对单晶以及多晶硅材料的需求不断增加。精密切割工具不仅要满足切割的质量,还要保证现代化生产的高效率。采用传统内圆锯片切割以及游离磨料多线锯切割逐渐显示出各种不足。而采用固着磨料多线锯切割是快速发展起来的一种精密切割技术。该文综述了固着磨料多线锯的锯丝制造方法,总结了固着磨料多线锯加工硬脆材料的锯切工艺,介绍了目前使用较多的多线锯切割机床,并展望了提高固着磨料多线锯锯丝寿命的可能途径。
曾明周玉梅郭长文
关键词：金刚石工具硅片
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