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晏秋娟

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇声体波
  • 1篇声体波器件
  • 1篇统计过程
  • 1篇统计过程控制
  • 1篇可靠性
  • 1篇工序能力
  • 1篇工序能力指数
  • 1篇过程控制
  • 1篇SPC
  • 1篇CPK

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇朱昌安
  • 1篇吴燕
  • 1篇周勇
  • 1篇晏秋娟
  • 1篇胡瑛
  • 1篇王栋

传媒

  • 1篇压电与声光

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
SPC技术在声体波器件生产过程的应用被引量：1
2013年
针对高品质声体波微波(MBAW)器件的批量生产问题,研究了MBAW器件平面工艺路线的生产流程,选择蒸发底电极,溅射氧化锌,蒸发上电极及超声键合4个工序,应用统计过程控制(SPC)技术实施控制,确保MBAW器件在稳定受控状态下生产。本项应用不仅使这4个工序的工序能力指数(Cpk)得到提升,且MBAW器件的性能一致性和可靠性也得到明显提高,结果表明,几年来生产的MBAW器件没有再出现使用过程因质量问题的返退。
胡瑛朱昌安晏秋娟周勇吴燕王栋
关键词：声体波器件可靠性
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共1页<1>
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