唐春玖
- 作品数：3 被引量：1H指数：1
- 供职机构：常熟理工学院物理与电子工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 微喇曼和红外光谱法研究化学气相沉积金刚石多晶膜结晶质量特性被引量：1
- 2011年
- 研究了化学气相沉积多晶膜的宏观性能(颜色和透光性)与微观性能(结晶质量、相纯度和氢杂质含量)之间的关系,喇曼谱与金刚石膜中氢杂质含量(红外光谱测得)的关联性.给出了根据颜色和透明度来区分样本膜质量的实验依据,颜色较深的膜的结晶质量差、相纯度低、氢杂质含量高,1 332cm-1金刚石特征喇曼峰强度低,半峰宽大.由于多晶膜生长不均匀性、多晶以及粗糙度的影响,生长面的微喇曼光谱随采样点变化会产生较大的偏差,而光滑生长界面的喇曼光谱随采样点的变化偏差较小,因此生长界面的喇曼光谱更能反映化学气相沉积法制备金刚石膜的整体质量.
- 顾利萍唐春玖
- 关键词：傅里叶变换红外光谱
- 微波等离子体化学气相沉积高＜100＞定向的{100}晶面组成的纳米金刚石薄膜的制备和结构表征
- 本文首次报道高质量高生长速率2.6微米/小时的高<100>定向的{100}晶面组成的纳米金刚石薄膜的制备和表征。我们利用一台5千瓦的微波等离子体化学气相沉积设备,采用在氢气和甲烷的等离子体中添加少量氮气和氧气,微波功率3...
- 唐春玖
- 关键词：微波等离子体化学气相沉积
- 文献传递
- 高定向纳米金刚石膜的高功率微波等离子体化学气相沉积研究
- 2017年
- 采用高功率微波等离子体化学气相沉积法制备了高定向的纳米金刚石膜,研究了制备过程中促进<100>高定向纳米金刚石膜的生长条件与生长规律间的关联,并采用扫描电镜、原子力显微镜、拉曼光谱和X射线衍射仪对在不同实验条件下选择相同的氮气和氧气添加比例所制备的样品形貌、光学性质和晶向织构进行表征分析.研究结果表明,<100>高定向纳米金刚石膜的形成是各种生长条件的综合效应,相同的氮气和氧气添加并非是其形成的必然条件.
- 唐春玖侯海虹李明法李文浩
- 关键词：纳米金刚石微波等离子体化学气相沉积
