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匡巧
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
供职机构:
武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室
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发文基金:
湖北省自然科学基金
湖北省教育厅优秀中青年人才项目
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相关领域:
化学工程
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合作作者
汪建华
武汉工程大学材料科学与工程学院...
满卫东
武汉工程大学材料科学与工程学院...
朱金凤
武汉工程大学材料科学与工程学院...
吕继磊
武汉工程大学材料科学与工程学院...
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化学工程
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单晶金刚石
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匡巧
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1篇
金刚石与磨料...
年份
1篇
2011
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同质外延单晶CVD金刚石的研究进展
被引量:5
2011年
金刚石因具有诸多优异的物理化学性能而使其在很多领域都有非常广阔的应用前景。CVD法高速合成大面积、高质量单晶金刚石一直是人工合成金刚石的研究热点之一。本文首先从基底预处理、生长参数的优化以及合成工艺的改进这三个方面综述了MPCVD同质外延单晶金刚石的研究进展,其次对国内外CVD外延单晶金刚石的研究进展进行了简单的介绍,最后对CVD法合成单晶金刚石的发展方向进行了展望。
朱金凤
满卫东
吕继磊
匡巧
汪建华
关键词:
单晶金刚石
化学气相沉积
生长速率
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