舒攀
- 作品数:1 被引量:4H指数:1
- 供职机构:北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:机械工程更多>>
- 差动共焦显微成像高稳定三维扫描技术与系统被引量:4
- 2017年
- 激光差动共焦显微镜具备高空间分辨率特点,但因其逐点扫描成像方式,扫描时间长,易受三维扫描系统不稳定和环境干扰等影响,产生系统漂移,影响仪器的空间分辨率。利用楔块机构高稳定特点,结合刹车机构的自由抱闸特性,设计了一种新型的轴向升降机构,由此构建了结构更具稳定特性的电动三维扫描系统。稳定性实验验证在搭建的激光差动共焦显微镜上进行,经过监测系统在90min内的轴向位置,轴向漂移小于50nm,与原三维扫描系统漂移140nm对比,漂移速度明显减慢,稳定性有显著提升,进而明显改善了差动共焦显微成像效果。
- 舒攀盛忠邱丽荣赵伟瑞赵维谦
- 关键词:光学测量高稳定