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氧化铪薄膜的宽光谱光学特性研究被引量：4: 2016年; 利用考夫曼离子源辅助电子束蒸发（IBAD）在K9玻璃上制备了HfO2薄膜。采用DX-2000型X射线衍射仪fXRD）对薄膜晶体结构进行分析得知制备的薄膜呈现单斜晶相结构。采用SE850宽谱变角度反射式光谱型椭偏仪对薄膜在280—2500nm波段的椭偏参数进行测量，光谱拟合中考虑了界面层和表面粗糙层，分别采用Cauchy模型、Tauc—Lorentz模型、Forouhi-Bloomer模型、Sellmeier-Transparent模型进行分析，得到薄膜紫外至近红外波段光学参数。椭偏拟合结果表明Tauc-Lorentz模型最符合HfO2薄膜光学特性，光谱曲线的拟合值与理论值最接近，均方根误差（MSE）为0．57。利用Lumda950分光光度计测量薄膜透射率并计算出HfO2薄膜光学带隙（-5．40eV）。; 朱晓龙肖峻马孜; 关键词：HFO2薄膜晶体结构光学常数光学带隙

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朱晓龙