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张雨

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇等离子
  • 1篇隐形
  • 1篇硬脆材料
  • 1篇激光

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇张孝其
  • 1篇韩微微
  • 1篇王宏智
  • 1篇张雨

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
硬脆材料的激光引导冷分离技术被引量：3
2016年
介绍了一种新型、节能的硬脆材料分离技术。该技术使用隐形激光打点使晶锭上部形成分离层,通过将高分子分离材料涂覆在待分离的晶圆薄片表面并冷冻使晶圆薄片分离。描述了该技术的主要工作流程和工艺特点,将该技术与目前常用的金刚线切割技术进行了比较,分析了该技术的特点并展望了该技术的应用前景。
张孝其张雨韩微微王宏智
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