孟祥卫
- 作品数：5 被引量：5H指数：1
- 供职机构：西安交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信冶金工程化学工程更多>>
- 毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法
- 本发明涉及毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法，通过将洛高夫斯基线圈的总体尺寸设计在亚厘米或数毫米以内、线圈的特征尺寸在数百微米至数十微米以内，实现对于超过兆赫兹乃至百G赫兹的交流信号的超高频超宽带电流信号测量。通过...
- 杨青陈烽柳克银孟祥卫山超
- 文献传递
- 毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法
- 本发明涉及毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法，通过将洛高夫斯基线圈的总体尺寸设计在亚厘米或数毫米以内、线圈的特征尺寸在数百微米至数十微米以内，实现对于超过兆赫兹乃至百G赫兹的交流信号的超高频超宽带电流信号测量。通过...
- 杨青陈烽柳克银孟祥卫山超
- 文献传递
- 飞秒激光湿法刻蚀微纳制造被引量：4
- 2014年
- 飞秒激光微加工作为一种新型微纳制造技术,在复杂三维构型制作方面具有其独特的优势,但激光加工效率问题严重制约了飞秒激光微加工技术走向实际工程应用,提出一种飞秒激光湿法刻蚀微纳制造方法,以提高飞秒激光微加工的效率为突破口,通过调控激光与物质相互作用获得材料的目标靶向改性,进而结合化学湿法刻蚀实现硬质材料上的高效和高精度三维微加工,采用这一方法制作出的微透镜尺寸为80μm,球冠高6.7μm,表面粗糙度小于10nm。利用这种方法,实现了不同结构与特性的高质量微透镜阵列的超精密制备,在石英内部也实现了螺旋微通道的复杂三维结构,螺旋通道直径为20μm,长径比超过100。
- 陈烽杨青边浩杜广庆柳克银孟祥卫邓泽方山超
- 关键词：飞秒激光湿法刻蚀微透镜微通道
- 飞秒激光湿法刻蚀技术制备石英内部真三维微线圈及微传感器的研究
- 感器是一个重要的功能元件,它被广泛的应用于电子电路、制动装置和MEMS系统等.利用飞秒激光微加工技术在透明介质内部制备均匀性、性能良好,能够满足实际应用要求的真三维微传感器件,是微加工领域的研究热点.论文主要研究了利用飞...
- 山超杨青陈烽孟祥卫柳克银李彦阳
- 关键词：微传感器
- 飞秒激光制备波导型光合波器的数值模拟被引量：1
- 2012年
- 为了对飞秒激光加工微纳米尺度波导器件的可行性进行分析,采用有限差分光束传输法对余弦型Y波导合波器的耦合夹角大小对合路光场的影响进行了仿真模拟,分析了光场强度、分支角度以及损耗等之间的关系,得到当耦合夹角为0.6rad时,输入光场相互隔离,附加损耗低至0.45dB,传输效率接近90%的结果。结果表明,在石英玻璃这种高损伤阈值的材料中利用飞秒激光直写制备光合波器件时,预先对加工的微纳器件进行仿真模拟,在微纳光子集成及微纳米光波导中具有很重要的意义。
- 代保江陈烽张东石杜广庆孟祥卫
- 关键词：光束传播法数值模拟
