周丽
- 作品数：3 被引量：5H指数：2
- 供职机构：北京信息科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 达曼光栅的设计与制作方法探讨被引量：2
- 2022年
- 研究基于二元光学的达曼光栅理论和设计方法,设计5×5分束达曼光栅。分别采用“减法”和“加法”加工方案制备器件。“减法”工艺方案包括,优化了氧化硅光栅制作中曝光、显影及深刻蚀工艺参数等关键工艺技术;“加法”工艺方案研究了氮化硅薄膜的制备及刻蚀工艺的问题。研究并制备了两种工艺方法的达曼光栅器件。实验结果表明,“减法”工艺方案的零级衍射场均匀分布的5×5点阵,总的衍射效率达到53%,不均匀性仅为0.19%;“加法”工艺方案的总的衍射效率为59%,不均匀性仅为0.16%;实验结果与理论设计的相符,验证了理论设计与工艺技术的可靠性。
- 王晓玲周哲海周丽
- 关键词：达曼光栅衍射效率
- 新型5×5分束达曼光栅的设计与制作被引量：3
- 2018年
- 基于理论设计了一种面内旋转对称的新型5×5分束达曼光栅,研究并优化了光栅制作中曝光、显影及深刻蚀等关键工艺参数。采用接触式曝光和感应耦合等离子体（ICP）刻蚀技术,在石英基底上制作出达曼光栅结构。实验中通过优化石英基底上接触式曝光时间和显影时间,较好控制了曝光图形失真;进一步通过控制ICP刻蚀工艺参数,获得了刻蚀深度为（750±10）nm的石英衬底,实现了达曼光栅器件的制备。通过衍射光学特性评测得到了理论设计的零级衍射场均匀分布的5×5点阵,总的衍射效率达到53%,不均匀性仅为0.19%。实验证明了理论设计与工艺技术的可靠性,为达曼光栅器件的集成光学系统应用奠定基础。
- 周丽钟青李劲劲邢海斌王雪深周哲海王晓玲
- 关键词：达曼光栅二元光学光刻深刻蚀
- 激光散斑法测量有机玻璃物体微形变研究被引量：1
- 2016年
- 通过设计激光散斑干涉测量系统,详细分析了激光散斑图像位相变化,以及有机玻璃离面微位移与干涉黑条纹序数和激光波长的关系。在激光散斑测量物体微形变系统中,应用物品架旋钮施加压力于有机玻璃,在632.8nm氦氖激光垂直入射于物品后,物品架旋钮分别减少6格、2格、2格,有机玻璃所受压力随之减小。在不同压力作用下有机玻璃所产生的微形变发生变化,通过CCD记录和计算机数据采集卡采集物体形变前后产生的激光散斑图样,经数值分析与计算,得到3种压力下物体的离面位移分别为1 898、1 264和632nm。得出随着有机玻璃施加压力的变小,离面位移微形变也变小的结论,为后续激光散斑压力传感器的研制提供了有效参考依据。
- 陈秀艳周丽高朋王中旗
- 关键词：激光散斑有机玻璃
