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赵瑞鹏
作品数:
3
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供职机构:
电子科技大学
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合作作者
张宇希
电子科技大学
刘青
电子科技大学
陶伯万
电子科技大学
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机构
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3篇
中文专利
主题
3篇
薄膜制备技术
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气体
2篇
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进排气
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MOCVD
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带材
1篇
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1篇
金属
1篇
基带
1篇
哈氏合金
1篇
合金
机构
3篇
电子科技大学
作者
3篇
陶伯万
3篇
刘青
3篇
张宇希
3篇
赵瑞鹏
年份
1篇
2018
2篇
2017
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一种用于MOCVD制备YBCO带材的气体反应腔
本发明属于薄膜制备技术领域,具体为一种用于MOCVD制备YBCO带材的气体反应腔。包括反应铜管、连接于反应铜管两端的进排气仓和冷却管。反应铜管两端接到进排气仓;导热带绕于反应铜管和冷却管;进排气仓均设有一个孔隙,与反应腔...
陶伯万
赵瑞鹏
刘青
张宇希
李言荣
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一种用于高温薄膜沉积的加热装置
本发明属于薄膜制备技术领域,具体为一种用于高温薄膜沉积的加热装置。本发明的加热装置包括两个电极组;电流I通过电极从金属衬底基带的两个边缘导入到金属衬底基带上,并在其上流动;金属衬底基带(具有较高电阻率的哈氏合金等)在自身...
陶伯万
刘青
赵瑞鹏
张宇希
李言荣
文献传递
一种用于MOCVD制备YBCO带材的气体反应腔
本发明属于薄膜制备技术领域,具体为一种用于MOCVD制备YBCO带材的气体反应腔。包括反应铜管、连接于反应铜管两端的进排气仓和冷却管。反应铜管两端接到进排气仓;导热带绕于反应铜管和冷却管;进排气仓均设有一个孔隙,与反应腔...
陶伯万
赵瑞鹏
刘青
张宇希
李言荣
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