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唐明华

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：广东工业大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇电场
  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇射频磁控溅射...
  • 1篇铁电
  • 1篇铁电场效应晶...
  • 1篇钛酸
  • 1篇钛酸铋
  • 1篇晶体管
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  • 1篇溅射法
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  • 1篇场效应晶体管
  • 1篇场效应器件
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射法

机构

  • 1篇广东工业大学

作者

  • 1篇张万里
  • 1篇鲁圣国
  • 1篇唐明华
  • 1篇唐振华

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于钕掺杂的钛酸铋薄膜的铁电场效应晶体管及制备方法
基于钕掺杂的钛酸铋薄膜的铁电场效应晶体管，其结构为Pt金属/钕掺杂的钛酸铋/二氧化铈/Si构成金属?铁电层?绝缘层?半导体结构铁电场效应晶体管，其制备方法为：采用射频磁控溅射法在清洗后p掺杂的Si基片上沉积厚度约10 n...
唐振华鲁圣国唐明华张万里
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