贾露宇
- 作品数：1 被引量：3H指数：1
- 供职机构：北京工业大学实验学院更多>>
- 发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 位移敏感压痕技术评价SiC硬质膜的力学性能被引量：3
- 2010年
- 为了解决SiC硬质膜力学性能难测试的问题,提出以Oliver-Pharr模型为基础的位移敏感压痕技术来评价SiC硬质膜的硬度及弹性模量。为了解其可靠性,将此方法用于普通玻璃和不锈钢作为参考。选用厚度为315±15μm的化学气相沉积(CVD)SiC硬质膜作为样品,实验以0.5N/s的载荷速度进行加卸载,载荷峰值取10～30N,结果表明:位移敏感压痕法计算出的普通玻璃和不锈钢的硬度分别为6.5GPa和1.7GPa,传统显微硬度计测试出的结果分别为5.3GPa和1.8GPa,其值比较接近;此方法计算出普通玻璃和不锈钢的弹性模量分别为65.1GPa和178.4GPa,与实际值70GPa和190GPa误差很小,因此表明该方法可靠性良好。利用位移敏感压痕技术得知CVDSiC硬质膜的硬度和弹性模量为37.7GPa和456.4GPa。另外根据维氏压痕形貌,应用JISR1607-1990标准,Anstis,Evans&Charles三断裂韧性公式,计算出普通玻璃和CVDSiC硬质膜KIC均值分别为0.78MPa.m1/2和2.70MPa.m1/2。此方法可广泛用于评价硬质膜的硬度和弹性模量等力学性能。
- 李坤明贾露宇包亦望孙立万德田霍艳丽
- 关键词：CVD力学性能
