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张恒超

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：国家知识产权局更多>>
相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇气相沉积
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积

机构

  • 1篇国家知识产权...

作者

  • 1篇范保虎
  • 1篇彭波南
  • 1篇张恒超

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
从专利文献分析化学气相沉积金刚石膜技术进展被引量：2
2016年
化学气相沉积金刚石膜具有优异性能,在高新技术领域有着广泛应用。本文从国内外专利文献方面着重分析化学气相沉积金刚石膜技术研究与应用进展。
范保虎彭波南张恒超
关键词：化学气相沉积金刚石膜
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