韩买兴
- 作品数：1 被引量：0H指数：0
- 供职机构：扬州大学物理科学与技术学院更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- GaN-LED芯片上ITO膜侧蚀异常的改善
- 2009年
- 氧化铟锡(ITO)对可见光具有高透过率及高电导率,常当作透明电极被广泛应用于发光元件上。使用合金的热处理方式,探讨了ITO经热处理后对刻蚀的影响。用电子束蒸镀机在GaN外延片上蒸镀一层ITO膜,用wIn2O3∶wSnO2=0.95∶0.05的ITO锭做靶材,然后把每个外延片切成两半,其中一半在氮气氛中合金,另一半不做合金,然后所有的半圆片去做光刻,最后刻蚀ITO,去胶测量图中圆形(电极直径)的尺寸并比较侧蚀量的大小,发现合金后刻蚀ITO比不合金直接刻蚀ITO要好。
- 林岳明韩买兴曾祥华
- 关键词：刻蚀外延片
