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陈宇

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中南大学物理与电子学院更多>>
发文基金：湖南省科技计划项目更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇直流反应磁控...
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射制备
  • 1篇光学
  • 1篇光学特性
  • 1篇反应磁控溅射
  • 1篇TIO2薄膜
  • 1篇TIO_2薄...
  • 1篇衬底
  • 1篇衬底温度
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射制备

机构

  • 1篇中南大学

作者

  • 1篇周继承
  • 1篇赵保星
  • 1篇陈宇

传媒

  • 1篇应用科技

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
磁控溅射制备TiO_2薄膜及其光学特性研究被引量：1
2010年
采用直流反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备TiO2薄膜.用紫外-可见光分光光度计和AFM分别表征了薄膜的透射率和表面形貌,用包络线法详细研究了不同衬底温度下TiO2薄膜的光学特性.结果表明:薄膜在可见光波段有很高的透明度,且随着衬底温度的升高,薄膜的透射率略有增加,薄膜的折射率和吸收系数增大,薄膜的光学带隙减小;同时,薄膜表面粗糙度减小,薄膜变得平整.
周继承陈宇赵保星
关键词：TIO2薄膜直流反应磁控溅射衬底温度光学特性
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共1页<1>
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