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宋同晶

作品数：2 被引量：8H指数：2
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇以太
  • 1篇以太网
  • 1篇以太网接口
  • 1篇数据通信
  • 1篇通信
  • 1篇千兆
  • 1篇千兆以太网
  • 1篇接口
  • 1篇刻蚀
  • 1篇刻蚀技术
  • 1篇沟槽
  • 1篇光滑度
  • 1篇高深宽比
  • 1篇ICP
  • 1篇ICP刻蚀
  • 1篇MPSOC

机构

  • 2篇合肥工业大学

作者

  • 2篇宋同晶
  • 1篇李桦林
  • 1篇展明浩
  • 1篇皇华
  • 1篇赵成伟

传媒

  • 2篇电子科技

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
基于ICP的硅高深宽比沟槽刻蚀技术被引量：6
2012年
介绍了电感耦合等离子体(ICP)刻蚀技术的基本概念。结合英国STS公司的STS multiplex ICP system刻蚀机,介绍了刻蚀机原理及刻蚀过程。对硅深槽刻蚀技术进行了分析,对其中Footing效应、Lag效应和侧壁光滑问题提出了优化方案,最后在实验的基础上得出了能够刻蚀出高质量硅深沟槽的刻蚀参数。
展明浩宋同晶皇华王文婧陈博
关键词：ICP刻蚀高深宽比
基于MPSoC的以太网接口设计与实现被引量：2
2011年
研究了以太网在多核系统中的数据通讯,设计了以太网IP核到MPSoC网络资源的硬件接口。阐述了设计中各模块的实现功能和设计方法,通过仿真和FPGA验证结果表明,以太网接口数据通讯具有实时和高吞吐率。实现了多核系统与网络数据的信息传递,硬件设计结构简单、性能稳定可靠。
李桦林宋同晶赵成伟
关键词：千兆以太网MPSOC数据通信
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