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周润

作品数：1 被引量：12H指数：1
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇条纹
  • 1篇面形
  • 1篇光线追迹
  • 1篇光学
  • 1篇光学反射镜
  • 1篇光学检测
  • 1篇反射法检测
  • 1篇反射镜

机构

  • 1篇中国科学院长...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 1篇张峰
  • 1篇付锦江
  • 1篇袁婷
  • 1篇周润

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
条纹反射法检测光学反射镜面形被引量：12
2015年
针对光学反射镜在精磨向初抛光过渡阶段时面形与理想面形存在较大偏差的问题,采用轮廓仪和普通干涉仪检测无法满足加工检测需求的问题,提出采用动态范围大且准确度高的条纹反射法来检测光学反射镜.研究分析了条纹反射检测系统的原理及系统误差,运用光线追迹软件对条纹反射检测100mm口径反射镜面形进行建模仿真,并对已经加工完成的100mm口径旋转对称球面反射镜进行了检测,测量得到的面形误差峰谷值及均方根值分别为0.523μm和0.086μm,满足该过渡阶段的检测需求.
袁婷张峰陶小平周润付锦江
关键词：光学检测光线追迹
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共1页<1>
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