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宋允书

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：鞍钢房产建设有限公司更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇镀膜
  • 1篇镀膜机
  • 1篇气体流量
  • 1篇气相沉积
  • 1篇温度
  • 1篇控制研究
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积

机构

  • 1篇东北大学
  • 1篇沈阳理工大学
  • 1篇渤海船舶职业...
  • 1篇鞍钢房产建设...

作者

  • 1篇王庆
  • 1篇徐化冰
  • 1篇徐香坤
  • 1篇宋允书

传媒

  • 1篇真空与低温

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
化学气相沉积镀膜机控制研究被引量：2
2008年
以RF-500型镀膜机为例介绍了化学气相沉积(CVD)镀膜机的结构以及工作原理;为克服RF-500型CVD镀膜机传统的电气控制缺点,开发了一套基于工业控制计算机的控制系统。描述了该镀膜机控制系统的硬件结构和软件功能。对基片温度、气体流量及开关量的控制效果进行了大量的实验研究。结果表明:基片温度控制精度达到±1℃、工作(反应)气体的流量控制精度达到10mL/min,可以进行精确的开关量控制。应用表明:该控制系统可以实时监控RF-500型CVD镀膜机的运行。
徐香坤王庆徐化冰宋允书
关键词：化学气相沉积镀膜机温度气体流量
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