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任献普
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
河北工业大学电子信息工程学院
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发文基金:
河北省科学技术研究与发展计划项目
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相关领域:
电子电信
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合作作者
黄宇辉
河北工业大学机械工程学院
赵晓然
河北工业大学机械工程学院
柳春茹
河北工业大学电子信息工程学院
刘新福
河北工业大学机械工程学院
赵丽敏
河北工业大学机械工程学院
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微区薄层电阻
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半导体
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河北工业大学
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赵丽敏
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赵晓然
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黄宇辉
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任献普
传媒
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半导体技术
年份
1篇
2009
共
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基于EIT技术的微区薄层电阻测试系统研究
被引量:1
2009年
分析了各种半导体材料电阻率测量方法的优缺点及适用性,利用电阻抗成像技术(EIT),探究了一种用来检测Si片内微区薄层电阻率均匀性的无接触测试技术。实现这种测试技术的硬件电路系统主要由激励模块恒流源、驱动模块多路模拟开关、信号处理模块前置放大电路、A/D转换器件和DSP(数字信号处理器)芯片、计算机等构成。分别介绍了各模块的构成与功能,并略述了用一种图像重建算法等位线反投影法进行阻抗分布图像的重建。
任献普
刘新福
黄宇辉
柳春茹
赵晓然
赵丽敏
关键词:
半导体测试
数字信号处理器
薄层电阻
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