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刘鑫

作品数：51 被引量：33H指数：4
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金四川省应用基础研究计划项目国防基金更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 43篇专利
  • 7篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 13篇电子电信
  • 8篇理学
  • 6篇机械工程
  • 5篇自动化与计算...
  • 3篇一般工业技术
  • 2篇化学工程
  • 1篇生物学

主题

  • 15篇光学
  • 14篇掩模
  • 13篇衍射
  • 10篇透镜
  • 8篇光刻
  • 8篇光学元件
  • 7篇掩模版
  • 7篇光刻胶
  • 6篇纳米
  • 5篇衍射透镜
  • 5篇紫外固化
  • 5篇微纳米结构
  • 5篇微透镜
  • 5篇基底
  • 4篇掩膜
  • 4篇硬质材料
  • 4篇套刻
  • 4篇面形
  • 4篇激光
  • 4篇激光直写

机构

  • 51篇中国科学院
  • 5篇中国科学院大...
  • 1篇西南交通大学

作者

  • 51篇刘鑫
  • 34篇范斌
  • 23篇边疆
  • 20篇杜俊峰
  • 20篇雷柏平
  • 11篇李敏
  • 7篇李志炜
  • 6篇汪利华
  • 5篇史立芳
  • 5篇邓启凌
  • 5篇张满
  • 4篇曹阿秀
  • 3篇陈强
  • 3篇鲜浩
  • 3篇杨虎
  • 3篇张俊波
  • 2篇李新阳
  • 2篇亓波
  • 2篇庞辉
  • 2篇何渝

传媒

  • 4篇光子学报
  • 2篇光电工程
  • 1篇光学学报

年份

  • 7篇2024
  • 8篇2023
  • 6篇2022
  • 5篇2021
  • 11篇2020
  • 6篇2019
  • 3篇2018
  • 3篇2017
  • 2篇2016
共 51 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种曲面基底微纳米结构的高精度制备方法
本发明公开了一种曲面基底微纳米结构的高精度制备方法，属于微纳光学技术领域，主要步骤如下：首先，结合传统光刻技术和有机玻璃的可控面形热弯工艺，制备曲面基底掩膜板；然后，利用接近式紫外曝光技术和等离子刻蚀技术，将微纳米结构传...
刘鑫李敏杜俊峰边疆雷柏平范斌杨虎亓波
压电陶瓷驱动器迟滞非线性建模及逆补偿控制被引量：6
2019年
自适应光学系统中的倾斜镜、变形镜通常是应用压电陶瓷驱动器来进行精密位移控制,但压电陶瓷驱动器都有较大的非线性迟滞效应,对系统定位性能造成了一定的影响。为了补偿迟滞现象,需要对迟滞效应进行建模。本文通过引入迟滞算子,使用贝叶斯正则化训练算法训练BP神经网络来构建压电陶瓷驱动器迟滞模型,以中国科学院光电技术研究所自主研制的压电陶瓷驱动器为对象开展了实验研究。实验结果表明,通过BP神经网络构建的压电陶瓷驱动器迟滞模型具有较准确的辨识能力,其中正模型的相对误差为0.0127,逆模型的相对误差为0.014。利用所建立的模型,压电陶瓷驱动器的非线性度从14.6%降低到了1.43%。
刘鑫李新阳李新阳
关键词：自适应光学压电陶瓷驱动器神经网络
一种衍射光学透镜波前误差快速修正的方法
本发明提供了一种衍射光学透镜波前误差快速修正的方法，包括衍射光学透镜对准定位、波前测量与灰度掩模计算、透镜工装保护、透镜背面灰度光刻、透镜背面刻蚀传递、透镜表面清洗。工作流程为首先对已有衍射光学透镜做对准定位，然后进行波...
高国涵罗倩刘鑫邵俊铭范斌杜俊峰雷柏平边疆石恒刘盾
一种基于双面纯相位型衍射色散透镜的光谱共焦位移测头
本发明公开了一种基于双面纯相位型衍射色散透镜的光谱共焦位移测头，属于光学测量技术领域，包括镜筒、光纤接口、双面纯相位型衍射色散透镜、第一衍射面、第二衍射面、光纤、光阑，镜筒的一端设有光纤接口，用于安装光纤，在镜筒的内部靠...
李杰王玉龙侯溪陈林刘鑫
一种基于点特征和单目相机的空间物体位姿测量方法
本发明提供了一种基于点特征和单目相机的空间物体位姿测量方法，其中，点特征固定在被测物体上，相机的内参通过标定确定；通过相机对点特征进行成像，在图像处理模块中求取点特征质心在相机坐标系下的坐标；结合已知信息通过公式估计出被...
雷柏平刘岩范斌边疆任国强刘鑫
文献传递
一种提高模板转印柔性衬底微结构位置精度的方法
本发明提供了一种提高模板转印柔性衬底微结构位置精度的方法，先将微孔陶瓷吸附板贴于微结构柔性衬底表面，抽真空使微结构柔性衬底上表面被牢牢吸附于微孔陶瓷吸附板表面，然后通过物理或化学手段使微结构柔性衬底下表面与微结构刚性模板...
高国涵范斌李志炜刘鑫
用于高分辨率成像的超薄复合材料衍射透镜及其制备方法
本发明提供了一种用于高分辨率成像的超薄复合材料衍射透镜及其制备方法，该超薄复合材料衍射透镜由高强度的超薄玻璃支撑层(1)、导电膜温度控制层(2)、柔性高分子聚合物防爆层(3)、基板面形补偿层(4)、衍射功能层(5)五层结...
刘鑫杜俊峰边疆雷柏平范斌
文献传递
一种大口径拼接望远镜的次镜装调方法
本发明涉及一种大口径拼接望远镜的次镜装调方法，包括：(1)根据拼接子镜远场成像光斑开展次镜初始寻焦；(2)对拼接子镜进行粗调，获得各个子镜的远场光斑并编号；(3)根据拼接子镜的成像光斑进行次镜位置粗调，判断粗调结果是否满...
李敏刘鑫张昂张俊波鲜浩
一种用于柔性薄膜衬底接触式光刻的真空贴附装置
本发明提供了一种用于柔性薄膜衬底接触式光刻的真空贴附装置，包括真空泵、机架、挡板阀、支撑台限位器、真空腔体、掩膜支撑台、放气阀、真空计、顶压机构、密封门开合机构、密封门、薄膜支架、柔性薄膜、密封垫、光刻掩膜版。其中掩膜支...
高国涵范斌李志炜雷柏平边疆刘鑫
文献传递
一种用于光学曝光的高分辨率柔性复合掩模板及其制备方法
本发明提供一种用于光学曝光的高分辨率柔性复合掩模板及其制备方法，该柔性复合掩模板由柔性高分子聚合物缓冲层(1)、高杨氏模量的高分子聚合物结构层(2)、金属掩蔽层(3)三层结构组成。缓冲层的低杨氏模量可保证复合模板的可弯曲...
邓启凌刘鑫张满秦燕云史立芳曹阿秀
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