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黄赫

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国人民解放军空军更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇溅射
  • 1篇靶机
  • 1篇ZNO:AL
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇辽宁装备制造...
  • 1篇中国人民解放...

作者

  • 1篇金小婷
  • 1篇黄赫

传媒

  • 1篇广东化工

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
交流双极脉冲磁控溅射电源研制及ZnO:Al透明薄膜制备
2015年
设计一台高性能的交流双极脉冲电源,用于驱动反应式磁控溅射靶机在透明基底上制备Zn O:Al薄膜。对电源的输出电压、电流、等离子体放电特性和光电辐射光谱特性进行测试,讨论不同工作气压对电源电气特性的影响。实验结果表明,该电源多变量可控,具备良好的电弧削弱能力,可驱动磁控溅射靶机在活性气体环境中制备出高沉积率的Zn O:Al透明薄膜。系统结构简单,性价比高,具有较强的市场推广能力。
金小婷黄赫
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