陈德江
- 作品数：1 被引量：3H指数：1
- 供职机构：江苏曙光光电有限责任公司更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 1064nm激光平板偏振膜的研制被引量：3
- 2009年
- 根据军用光学仪器的使用要求,在平板K9基底上镀制偏振膜,要求在56.4°角入射条件下,激光波长1064 nm处满足TP>99%,TS<1%,且膜层抗激光损伤阈值应≥600 MW/cm2。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统,通过选择HfO2和SiO2作为高低折射率材料,利用Macleod软件进行膜系设计与分析,采用LightRatioPeak光值比例法进行监控,优化工艺参数,减少监控误差,在平板K9基底上成功镀制符合使用要求的偏振膜。所镀膜层不仅满足光谱要求,且顺利通过膜层环境测试,完全满足军用光学仪器的使用要求。
- 贺才美陈德江涂建军缪金义陈忠杜亚清
- 关键词：光学薄膜真空镀膜离子辅助沉积激光损伤阈值
