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郭辉

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：河北省科学院更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇电性能
  • 1篇圆柱
  • 1篇微波介电
  • 1篇微波介电性能
  • 1篇介电
  • 1篇介电性
  • 1篇介电性能
  • 1篇金刚石膜

机构

  • 1篇北京科技大学
  • 1篇河北省科学院
  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇唐伟忠
  • 1篇李义锋
  • 1篇苏静杰
  • 1篇安晓明
  • 1篇杨梓
  • 1篇郭辉

传媒

  • 1篇无机材料学报

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
分体圆柱谐振腔法用于金刚石膜微波介电性能测试的研究被引量：4
2015年
针对金刚石膜微波介电损耗低、厚度薄带来的微波介电性能测试难点,研制了一台分体圆柱谐振腔式微波介电性能测试装置。利用不同直径的蓝宝石单晶样品,用上述装置对低损耗薄膜类样品微波介电性能的测试能力及样品直径对测试结果的影响进行了实验研究。在此基础上,使用分体圆柱谐振腔式微波介电性能测试装置对微波等离子体化学气相沉积法和直流电弧等离子体喷射法制备的高品质金刚石膜在Ka波段的微波介电性能进行了测试比较。测试结果表明,由Raman光谱、紫外-可见光谱等分析证明品质较优的微波等离子体化学气相沉积法制备的金刚石膜具有更高的微波介电性能,其相对介电常数和微波介电损耗值均低于直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石膜。
苏静杰杨梓李义锋唐伟忠安晓明郭辉
关键词：微波介电性能金刚石膜
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