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李晓俊

作品数：1 被引量：6H指数：1
供职机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇质心
  • 1篇MEMS微结...

机构

  • 1篇天津大学

作者

  • 1篇孙彬
  • 1篇胡小唐
  • 1篇胡晓东
  • 1篇陈治
  • 1篇李晓俊

传媒

  • 1篇纳米技术与精...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MEMS微结构旋转角度的快速测量方法被引量：6
2009年
可运动的微结构是MEMS器件的重要单元,其运动特性与器件的性能和可靠性是密切相关的.针对频闪成像技术获得的微结构运动图像序列,提出一种微结构旋转角度的快速测量方法.该方法利用运动微结构上普遍存在的释放工艺孔结构作为目标特征,对其中两个释放工艺孔的图像特征分别求取质心和两质心连线的斜率,最后比较运动图像序列中质心斜率的变化,得到各运动状态下的旋转角度.实验结果表明,该测量方法的运算时间小于0.5s,角度测量分辨率可达到0.01°.
胡晓东李晓俊孙彬陈治胡小唐
关键词：MEMS微结构质心
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