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闫占奇

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：北京科技大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体制备
  • 1篇气相沉积
  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石单晶
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇刚石

机构

  • 1篇北京科技大学
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 1篇吕反修
  • 1篇李宏
  • 1篇陈广超
  • 1篇李彬
  • 1篇李浩
  • 1篇韩晓泉
  • 1篇闫占奇

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
直流喷射电弧等离子体制备金刚石单晶的研究被引量：3
2012年
通过利用光发射谱技术,探测了大功率直流喷射电弧等离子体增强化学气相沉积方法中沉积区域的气相激元分布,进而优选了金刚石生长的位置。在沉积过程中,不断使衬底做背向等离子体的运动,实现了大颗粒金刚石的连续生长,颗粒尺寸达到约1 mm3。采用劳厄背反射X射线衍射测试技术和拉曼谱技术,对所制备的样品进行了测试,结果表明:所制备的颗粒为金刚石单晶。对于大尺寸衬底,研究了背向运动速度对沉积晶体的形貌和质量的影响,发现了ATG型不稳定形貌。
李彬闫占奇李浩韩晓泉吕反修陈广超李宏
关键词：等离子体化学气相沉积金刚石单晶
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