谌雅琴
- 作品数：5 被引量：11H指数：2
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院科研装备研制项目国家科技重大专项北京市自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 一种针对单个纳米颗粒的检测方法
- 本发明涉及一种针对单个纳米颗粒的检测方法，所述检测方法包括如下步骤：在盖玻片上附着单个纳米颗粒；光源发出的光经过扩束整形后，聚焦到油浸物镜的后焦平面；调节入射光在所述油浸物镜的后焦平面上的位置，使入射光斜入射到所述盖玻片...
- 江丽雯路鑫超孙旭晴刘虹遥熊伟谌雅琴张朝前
- 文献传递
- 基于倏逝波界面散射的单个纳米颗粒无标记成像被引量：3
- 2018年
- 介绍了一种利用倏逝波界面散射对单个纳米颗粒进行无标记成像的方法。分别使用全内反射(TIR)倏逝波与表面等离激元(SPPs)两种倏逝波与单个纳米颗粒相互作用,激发纳米颗粒极化并发生散射,所产生的界面散射与入射倏逝波发生干涉,形成了纳米颗粒极化场与抛物线形干涉条纹的特征成像。分别对直径为500,200,100nm的聚苯乙烯颗粒进行了单个纳米颗粒无标记成像。比较了两种倏逝波界面散射对单个纳米颗粒成像结果,发现表面等离激元界面散射成像中的单个纳米颗粒极化强度约是全内反射极化强度的10倍,并且接近于暗场成像。因此,表面等离激元界面散射对单个纳米颗粒无标记成像具有更高灵敏度。所提单个纳米颗粒无标记成像方法可以拓展到病毒检测、生物单分子成像等领域。
- 江丽雯孙旭晴刘虹遥谌雅琴熊伟张朝前路鑫超
- 关键词：表面光学全内反射表面等离激元
- 利用多个标准样品校准光谱椭圆偏振仪被引量：7
- 2014年
- 光谱椭偏仪是常用的测量薄膜厚度及材料光学性质的仪器，其准确性主要由系统的校准过程确定。提出一种新的利用标准样品校准光谱椭偏仪的方法。该方法通过对多个已知厚度和已知材料特性的薄膜样品进行测量，利用测量得到的多个样品的傅里叶系数光谱与包含未知校准参数的理论光谱之间进行对比，通过最小二乘法拟合，回归求解出整个系统的未知校准参数，包括偏振器方位角，波片延迟，波片方位角和系统入射角等。将该方法的应用领域扩展到2001000nm的宽光谱区域，并通过测量3～13nm的SiO2／Si薄膜样品，实验验证了该方法的有效性，准确性达到0．194nm。该方法相对于传统校准方法更加简单、快速。
- 宋国志刘涛谌雅琴李国光王建东
- 关键词：校准最小二乘法光学常数
- 全反射式宽光谱成像椭偏仪被引量：1
- 2016年
- 本论文采用全反射式光学聚焦结构,通过独特的偏振控制技术,实现宽光谱、无色差成像椭偏仪的研制。在系统校准过程中采用多样品校准方法,利用校准得到的系统参数对待测样品进行成像椭偏分析,确定样品椭偏角ψ和s及薄膜厚度的空间分布。为测试自制成像椭偏仪的准确性,本文对3 nm^300 nm的Si O2/Si样品在200 nm^1 000 nm内多波长下进行成像椭偏测量。实验结果表明,Si O2薄膜厚度最大相对测量误差小于6%。
- 姜春光谌雅琴刘涛熊伟李国光纪峰
- 关键词：椭偏测量
- 一种针对单个纳米颗粒的检测方法
- 本发明涉及一种针对单个纳米颗粒的检测方法，所述检测方法包括如下步骤：在盖玻片上附着单个纳米颗粒；光源发出的光经过扩束整形后，聚焦到油浸物镜的后焦平面；调节入射光在所述油浸物镜的后焦平面上的位置，使入射光斜入射到所述盖玻片...
- 江丽雯路鑫超孙旭晴刘虹遥熊伟谌雅琴张朝前
- 文献传递
