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林鹏飞
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1
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供职机构:
江苏大学材料科学与工程学院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
姜楠
江苏大学材料科学与工程学院
洪玮
江苏大学材料科学与工程学院
张娟
江苏大学材料科学与工程学院
吴伟骏
江苏大学材料科学与工程学院
骆英
江苏大学土木工程与力学学院
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2016
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Y^(3+)掺杂BST/ZrO_2复合薄膜的制备及介电性能研究
2016年
运用溶胶-凝胶法在Si/SiO_2/Ti/Pt基底上制备了掺杂不同量的Y^(3+)的单层Ba_(0.65)Sr_(0.35)TiO_3(BST)薄膜和并联结构的BST/ZrO_2复合薄膜。研究发现:当BST溶胶中掺入了适量的Y^(3+)后,制备的单层BST的表面形貌得到改善,介电性能提高;掺杂的Y^(3+)为1mol%时单层BST薄膜介电性能最佳,介电常数为400.53;介电损耗为0.0125。BST/ZrO_2复合薄膜的电容值相对于单层BST薄膜得到明显提高,当烧结温度为750℃时,BST/ZrO_2复合薄膜综合介电性能最佳,介电常数790.12;介电损耗达到0.051。
姜楠
刘军
洪玮
张娟
吴伟骏
林鹏飞
骆英
关键词:
溶胶-凝胶法
BST薄膜
介电性能
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