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邵志翔
作品数:
1
被引量:6
H指数:1
供职机构:
华东理工大学理学院物理系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
周康夫
华东理工大学理学院物理系
杜明贵
华东理工大学理学院物理系
陆慧
华东理工大学理学院物理系
潘孝仁
华东理工大学理学院物理系
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华东理工大学...
年份
1篇
2008
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纳米颗粒ZnO薄膜气敏机理研究
被引量:6
2008年
采用气体放电活化反应蒸发沉积(GDARE)法低温生长纳米颗粒ZnO薄膜。在不同温度下测试其对乙醇的灵敏度,结果表明:285℃附近纳米颗粒ZnO薄膜的灵敏度最高,为9.76,并且其最佳工作温度区间较窄。通过对ZnO薄膜的AFM表面形貌分析、SEM剖面分析和光学透射谱测试,可推测薄膜具有多孔性柱状晶表面结构,结合ZnO薄膜通入乙醇前后的阻抗谱测试结果,从晶粒晶界效应上对纳米颗粒ZnO薄膜的气敏机理进行了讨论。
杜明贵
陆慧
周康夫
邵志翔
潘孝仁
关键词:
ZNO薄膜
灵敏度
透射率
阻抗谱
晶界
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