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韩广涛
作品数:
1
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供职机构:
华润上华科技股份有限公司
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李冰
东南大学集成电路学院
杨万青
东南大学集成电路学院
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2008
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与5V CMOS标准工艺兼容的20V N-CDMOS器件研究
2008年
文章主要介绍了在0.5μm5V CMOS标准制造工艺的基础上,不改变其工艺制造流程及其掺杂浓度,借助Synopsys模拟软件详细分析讨论了高压N-CDMOS器件的漂移区长度、沟道长度与击穿电压之间的关系,通过对各参数的模拟和实验设计,最终获得20V高压N-CDMOS最优化的器件结构与工艺参数。其制造工艺与现有5V低压工艺完全兼容,工艺简单、集成度高,可广泛应用于功率器件的芯片上。
杨万青
李冰
韩广涛
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漂移区
击穿电压
场板
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