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谢树海
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十九研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
闻化
空军驻黑龙江地区军事代表室
高成臣
中国电子科技集团公司第四十九研...
姚东媛
中国电子科技集团公司第四十九研...
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谢树海
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传感器与微系...
年份
1篇
2008
共
1
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石英晶体谐振式绝对压力传感器研制
被引量:2
2008年
介绍了一体化石英谐振式压力传感器的研制,采用石英晶体材料制做弹性膜片,用音叉式石英力敏谐振器检测压力,减少了传感器的体积,降低了制造工艺难度。研制的传感器量程为0-120kPa,中心频率为(40±4)kHz,精度为0.05%。
潘安宝
闻化
姚东媛
高成臣
谢树海
关键词:
石英晶体
谐振
压力传感器
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