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姜宏伟
作品数:
1
被引量:11
H指数:1
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
吴远大
中国科学院半导体研究所
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电子电信
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调谐
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调谐滤波器
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微环谐振
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滤波器
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可调
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可调谐
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可调谐滤波器
1篇
SOI
1篇
MRR
机构
1篇
中国科学院
1篇
吉林体育学院
作者
1篇
吴远大
1篇
姜宏伟
传媒
1篇
光电子.激光
年份
1篇
2011
共
1
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被引量排序
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SoI基微环谐振可调谐滤波器
被引量:11
2011年
采用电子束光刻和ICP刻蚀等工艺制作出绝缘体上Si(SoI)基纳米线波导微环谐振(MRR)滤波器,波导截面尺寸为300 nm×320 nm,微环半径为5μm。测试结果表明,器件的自由频谱宽度(FSR)为16.8 nm,1.55μm波长附近的消光比(ER)为18.1 dB。通过对MRR滤波器进行热光调制,在21.4-60.0℃温度范围内实现了4.8 nm波长范围的可调谐滤波特性,热光调谐效率达到0.12 nm/℃。
姜宏伟
吴远大
关键词:
滤波器
热光效应
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