李泽锋
- 作品数：4 被引量：10H指数：2
- 供职机构：常州大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 氧化硅内核结构对核/壳包覆型SiO_2/CeO_2复合颗粒抛光性能的影响被引量：6
- 2017年
- 设计合成了以具有放射状介孔孔道(孔径约2.6 nm)的介孔氧化硅(mSiO_2)微球(粒径约300 nm)为内核、以CeO_2纳米颗粒为包覆层(壳厚为15~20 nm)的m SiO_2/CeO_2复合颗粒(粒径在330~340 nm),使用场发射扫描电镜、透射电镜、X射线衍射、傅里叶转换红外光谱和氮气吸脱附等手段表征了样品的结构。结果表明,使用以实心氧化硅(sSiO_2)为内核的sSiO_2/CeO_2复合颗粒抛光的热氧化硅片其表面粗糙度均方根值(Root-mean-square roughness,RMS)为0.309 nm,材料的去除率(Material removal rate,MRR)为24 nm/min)。mSiO_2/CeO_2复合颗粒有利于得到更低的氧化硅片抛光表面粗糙度(RMS=0.267 nm)和更高的抛光速率(MRR=45 nm/min),且能避免出现划痕等机械损伤。SiO_2/CeO_2复合颗粒中的氧化硅内核结构,对其抛光特性有明显的影响。
- 陈爱莲李泽锋陈杨
- 关键词：无机非金属材料氧化硅氧化铈核壳结构抛光
- 一种核壳包覆结构的复合颗粒及其制备方法和用途
- 本发明属于超细复合粉体材料制备领域，涉及一种以介孔氧化硅微球为内核、氧化铈纳米颗粒为壳层的核壳包覆结构复合颗粒及其制备方法及其在化学机械抛光中的用途。本发明以具有放射状介孔孔道的介孔氧化硅微球为内核，以六水硝酸亚铈为铈源...
- 陈爱莲陈杨李泽锋左长智
- 亚微米介孔二氧化硅微球的制备及其弹性模量的拟合计算被引量：4
- 2017年
- 在室温条件下以十六烷基三甲基溴化铵为表面活性剂制备亚微米级介孔二氧化硅(mSiO_2)微球,通过小角XRD、FESEM、TEM和孔分布测试等手段对样品进行结构表征。结果表明:所得mSiO_2微球的粒径为(316±11)nm,样品内部存在蠕虫状放射状介孔孔道,其孔径多集中在2.5 nm。利用AFM力曲线测试技术对单个mSiO_2微球的弹性响应进行评价,通过解析所记录的力—位移曲线,分别结合Hertzain模型和Sneddon模型对样品的压缩弹性模量进行拟合计算。利用Hertzain弹性接触模型计算得出的弹性模量平均值为5.30 GPa,在Sneddon模型条件下获得的弹性模量平均值为16.50 GPa,与现有文献中关于介孔氧化硅薄膜材料弹性模量的报道值(3~16 GPa)基本相当。
- 陈杨陈爱莲秦佳伟李泽锋
- 关键词：表面活性剂
- 一种核壳包覆结构的复合颗粒及其制备方法和用途
- 本发明属于超细复合粉体材料制备领域，涉及一种以介孔氧化硅微球为内核、氧化铈纳米颗粒为壳层的核壳包覆结构复合颗粒及其制备方法及其在化学机械抛光中的用途。本发明以具有放射状介孔孔道的介孔氧化硅微球为内核，以六水硝酸亚铈为铈源...
- 陈爱莲陈杨李泽锋左长智
- 文献传递
