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光谱椭偏系统光源和光谱仪偏振相关系数测量被引量：3: 2019年; 光谱椭偏测量技术已广泛应用于材料科学、微电子、物理化学和生物医学等领域。在光谱椭偏测量系统中,由于起偏器和检偏器存在漏光等瑕疵,光源子系统的偏振度和光谱仪子系统的偏振敏感度会影响光谱椭偏系统的测量精度。针对这一问题,本文建立了光谱椭偏测量系统的偏振相关系数的修正模型;并提出了一种同时测量光源子系统和光谱仪子系统偏振相关系数的方法。利用现有实验室内的宽带光源系统和宽带光谱仪验证了这种测量方法的可行性。; 范真涛汤媛媛汤媛媛魏凯陈颖; 关键词：光源光谱仪

一种基于自适应光学的光谱成像装置: 本发明提供了一种基于自适应光学的光谱成像装置，包括准直器(1)、倾斜镜(2)、波前校正器DM(3)、二向色分光镜(4)、波前探测器(5)、波前控制器(6)、成像系统(7)、望远镜一次像面(8)、中继光学系统(9)、望远镜...; 汤媛媛张雨东魏凯范真涛; 文献传递

一种椭偏仪实时测量结果优化方法: 本发明公开了一种椭偏仪实时测量结果优化方法，通过该方法各个波段的测量结果的可信度在单次测量中被估计出来，可以用于实时测量。该优化方法包括：根据双旋转补偿器式穆勒矩阵椭偏仪的结构图搭建出实验系统；测量椭偏仪的噪声组成及其噪...; 苗政委汤媛媛魏凯张雨东

一种提高液晶可调谐滤波器光谱重建精度和分辨率的方法: 本发明公开了一种提高液晶可调谐滤波器光谱重建精度和分辨率的方法，该方法利用的装置包括成像目标(1)、准直系统(2)、液晶可调谐滤波器(LCTF)(3)、成像透镜(4)和探测器阵列(5)，该方法包括如下步骤：1)设定液晶可...; 范真涛汤媛媛张雨东魏凯; 文献传递

一种椭偏仪实时测量结果优化方法: 本发明公开了一种椭偏仪实时测量结果优化方法，通过该方法各个波段的测量结果的可信度在单次测量中被估计出来，可以用于实时测量。该优化方法包括：根据双旋转补偿器式穆勒矩阵椭偏仪的结构图搭建出实验系统；测量椭偏仪的噪声组成及其噪...; 苗政委汤媛媛魏凯张雨东; 文献传递

一种提高液晶可调谐滤波器光谱重建精度和分辨率的方法: 本发明公开了一种提高液晶可调谐滤波器光谱重建精度和分辨率的方法，该方法利用的装置包括成像目标(1)、准直系统(2)、液晶可调谐滤波器(LCTF)(3)、成像透镜(4)和探测器阵列(5)，该方法包括如下步骤：1)设定液晶可...; 范真涛汤媛媛张雨东魏凯; 文献传递

DRC-MME高级参数模型直通标定实验的自由度分析被引量：1: 2021年; 在椭偏测量中,采用直通式标定方法准确标定出系统模型参数对于样品的精确测量至关重要。由于双旋转补偿器式Mueller矩阵椭偏仪(DRC-MME)高级参数模型复杂,参数数量较多,且部分高级参数之间存在相互级联和耦合,为保证标定结果的准确性,实验中各个参数之间的独立性关系需要被检验。针对这一问题,使用奇异值分解、泡利矩阵和其他数学工具,从理论上对DRC-MME直通标定实验的自由度进行研究分析,明确在数据拟合过程中的"无用"参数,并通过仿真实验验证研究分析结果的正确性。最后搭建实验平台,开展了直通标定实验,得到了符合实际物理意义的高级参数标定结果,并使用标定好的高级参数模型对硅衬底上二氧化硅薄膜厚度进行了测量,测量结果与标称值相差1.9 nm,重复测量精度为5.31 pm。所提对直通标定实验自由度的研究分析方法不仅适用于椭偏仪,也可为其他的多参数优化过程提供一个分析思路。; 苗政委汤媛媛魏凯张雨东; 关键词：椭偏测量奇异值分解

DRC-MME直通标定随机误差估计及最优配置分析被引量：1: 2021年; 椭偏仪实现高精度测量的关键在于模型值的精准标定,而随机误差是影响标定精度的重要因素。从椭偏仪随机误差的产生原因入手,针对零阶噪声受限、一阶噪声受限、二阶噪声受限三种可能存在的系统,对测量结果随机误差进行了数值估计。为了降低测量结果的随机误差,采用枚举法和遗传算法,得到了三种系统下的最佳配置。数值分析和实验结果表明,比起常用的配置,最佳配置下的随机误差可以降低1/3以上。本文虽然仅给出三种噪声受限系统的最优配置,但是噪声估计结果和优化方法可以适用于多种噪声模型共同存在的模型。; 苗政委汤媛媛魏凯张雨东; 关键词：椭偏测量遗传算法

一种液晶可调谐滤波器成像光谱重建方法: 本发明公开了一种液晶可调谐滤波器成像光谱重建方法，该方法利用的装置包括成像目标、准直系统、液晶可调谐滤波器(LCTF)、成像透镜和探测器阵列，该光谱重建方法包括如下步骤：1)成像光谱数据预处理；2)生成三维数据立方体D(...; 范真涛汤媛媛张雨东魏凯; 文献传递

一种基于自适应光学的光谱成像装置: 本发明提供了一种基于自适应光学的光谱成像装置，包括准直器(1)、倾斜镜(2)、波前校正器DM(3)、二向色分光镜(4)、波前探测器(5)、波前控制器(6)、成像系统(7)、望远镜一次像面(8)、中继光学系统(9)、望远镜...; 汤媛媛张雨东魏凯范真涛; 文献传递

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