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徐军

作品数:54 被引量:199H指数:8
供职机构:教育部更多>>
发文基金:国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”海南省重点科技计划项目更多>>
相关领域:理学一般工业技术金属学及工艺机械工程更多>>

文献类型

  • 43篇期刊文章
  • 10篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 28篇理学
  • 17篇一般工业技术
  • 8篇金属学及工艺
  • 4篇机械工程
  • 3篇电子电信
  • 2篇轻工技术与工...
  • 1篇化学工程
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇建筑科学
  • 1篇核科学技术

主题

  • 21篇磁控
  • 21篇磁控溅射
  • 14篇类金刚石
  • 13篇溅射
  • 10篇等离子体
  • 9篇金刚石膜
  • 9篇类金刚石膜
  • 8篇非平衡磁控溅...
  • 6篇光谱
  • 5篇等离子体增强
  • 5篇性能研究
  • 5篇金刚石薄膜
  • 5篇拉曼
  • 5篇类金刚石薄膜
  • 5篇化学结构
  • 5篇DLC膜
  • 4篇SICN
  • 3篇氮化
  • 3篇等离子
  • 3篇等离子体密度

机构

  • 50篇大连理工大学
  • 4篇教育部
  • 3篇大连交通大学
  • 2篇海南大学
  • 2篇中国科学院
  • 2篇海南大白康健...
  • 1篇湖南大学
  • 1篇沈阳工业大学
  • 1篇扬州大学
  • 1篇中国人民解放...
  • 1篇三束材料改性...

作者

  • 54篇徐军
  • 18篇董闯
  • 18篇邓新绿
  • 14篇丁万昱
  • 13篇高鹏
  • 12篇陆文琪
  • 8篇朴勇
  • 6篇邓新禄
  • 5篇刘天伟
  • 5篇李新
  • 5篇马腾才
  • 5篇王德和
  • 4篇唐祯安
  • 4篇张治国
  • 3篇陈小锰
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  • 2篇王同敏
  • 2篇苏元军
  • 2篇孙宝元
  • 2篇崔云先

传媒

  • 9篇真空科学与技...
  • 8篇物理学报
  • 4篇功能材料
  • 4篇真空
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  • 2篇核聚变与等离...
  • 2篇大连理工大学...
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  • 1篇材料科学与工...
  • 1篇建筑结构学报
  • 1篇机械工程学报
  • 1篇材料保护
  • 1篇机械工程材料
  • 1篇材料导报
  • 1篇材料研究学报
  • 1篇物理化学学报
  • 1篇化工进展
  • 1篇应用光学
  • 1篇纯碱工业
  • 1篇量子电子学

年份

  • 1篇2024
  • 2篇2022
  • 1篇2016
  • 1篇2013
  • 3篇2012
  • 1篇2011
  • 2篇2010
  • 5篇2009
  • 1篇2008
  • 5篇2007
  • 10篇2006
  • 10篇2005
  • 6篇2004
  • 1篇2003
  • 1篇2002
  • 1篇2001
  • 1篇1999
  • 1篇1997
  • 1篇1996
54 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
HS-SPME-GC-MS结合多元统计分析初榨椰子油常温储藏过程中挥发性风味成分被引量:7
2022年
为了研究初榨椰子油常温储藏过程的挥发性风味成分变化规律,采用顶空固相微萃取-气相色谱-质谱(Headspace solid phase microextraction and gas chromatography-mass spectrometry,HS-SPME-GC-MS)技术对不同氧化时期的初榨椰子油进行了分析。结果表明:共鉴定出40种挥发性成分(8个共有组分),主要包括酯类、醛类、酮类和酸类。相对气味活度值(Relative odor activity value,ROAV)分析表明己醛、2-庚酮、丁位己内酯、壬醛、辛酸乙酯、丁位辛内酯、2-十一酮、癸酸乙酯、丁位癸内酯等是初榨椰子油常温储藏过程中关键风味物质。结合主成分分析(principal component analysis,PCA)及偏最小二乘判别分析(partial least squares discrimination analysis,PLS-DA)建立了初榨椰子油不同储藏时期的判别模型,表明除不同类别化合物(酮类化合物、酯类化合物和酸类化合物)的含量可以作为简单区分初榨椰子油储藏期的指标以外,至少六种关键挥发性成分(2-庚酮、2-己酮、丁位己内酯、己醛、己酸、丁位辛内酯)也可用于评估初榨椰子油的氧化情况。相关研究为初榨椰子油风味品质评价及氧化程度提供了理论参考,研究结果也有助于开发一种鉴别不同新鲜程度椰子油品的新方法。
石芬徐军徐军白新鹏白新鹏陈星
关键词:风味成分
DLC膜用于解决MEMS黏附问题研究被引量:5
2006年
介绍了微机电系统(M EM S)中存在的黏附问题,对引起黏附的原因和如何解决黏附问题进行了分析.采用牺牲层腐蚀技术在多晶硅悬臂梁下表面制备类金刚石(DLC)膜,通过扫描电子显微镜(SEM)表征未发生黏附的悬臂梁最长长度.发现衬底上有DLC膜时,未发生黏附的悬臂梁最长长度平均约为145μm;而无DLC膜时,平均不到80μm.利用原子力显微镜(AFM)测得DLC膜表面的黏附力在7 nN左右,而硅衬底表面的黏附力大约为20 nN.实验结果表明DLC膜降低了悬臂梁与衬底之间的毛细引力和固体间黏附力,减轻了多晶硅悬臂梁的黏附.
李新唐祯安徐军鲍海飞
关键词:类金刚石膜微机电系统悬臂梁
双放电腔微波-ECR等离子体源增强磁控溅射沉积技术被引量:20
2001年
因其设备简单、沉积速率高等特点 ,磁控溅射沉积技术被广泛地用于各种薄膜制备中 .但用反应磁控溅射制备化合物薄膜如氧化物、氮化物膜时 ,为了得到化学配比的膜层 ,薄膜生长表面的反应激活基团、离子等的密度必须足够大 .为此对原有的微波 -ECR等离子体源进行了改造 .研究了双放电腔微波 -ECR等离子体源增强磁控溅射的放电特性 ,并用该方法制备了氮化碳膜 .结果表明 :该方法是一种有效的制备化合物薄膜的技术 ;用该方法制备的氮化碳膜 。
徐军邓新绿张家良陆文棋马腾才
关键词:磁控溅射放电特性等离子体源
微波ECR等离子体特性及其对DLC膜性能的影响被引量:3
2005年
为了解并优化在微波ECR等离子体增强化学气相沉积制备类金刚石膜工艺研究中的等离子体特性,利用朗缪尔探针法系统地测量了等离子体密度(Ne)、电子温度(Te)随工作气压(p)变化的关系。DLC膜的结构和性能依赖于沉积条件,提高等离子体密度有利于DLC膜的生长。本文示出了不同的CH4流量时,DLC膜的拉曼光谱和表面均方根粗糙度Rrms变化曲线,阐述了等离子体密度Ne、电子温度Te对DLC膜结构和性能的影响。
陈小锰邓新绿张治国刘天伟丁万昱徐军
关键词:等离子体特性等离子体增强化学气相沉积等离子体密度DLC膜类金刚石膜工作气压
等离子体增强磁控溅射沉积碳化硅薄膜的化学结构与成膜机理被引量:5
2010年
以CH4和Ar为工作气体,单晶硅为溅射靶,通过微波电子回旋共振(MW-ECR)等离子体增强非平衡磁控溅射方法在不同的CH4流量和沉积温度下制备了a-Si1-xCx∶H薄膜.利用傅里叶变换红外(FT-IR)光谱,X光电子能谱(XPS)和纳米硬度仪等表征方法研究不同沉积参数下薄膜的化学结构、化学配比和硬度的变化.结果表明:室温(25℃)下随CH4流量由5cm·3min-1增加到45cm3·min-1(标准状态)时,薄膜中Si—CH2键,C—H键含量逐渐增加,Si—H键变化不明显;膜中C原子百分比由28%增至76%,Si原子百分比由62%降至19%.当CH4流量为15cm3·min-1时,随沉积温度的升高,薄膜中Si和C原子百分比含量分别为52%和43%,且基本保持不变;膜中Si—H键和C—H键转化为Si—C键,薄膜的显微硬度显著提高,在沉积温度为600℃时达到29.7GPa.根据分析结果,提出了室温和高温下a-Si1-xCx:H薄膜生长模型.
孙文立徐军陆文琪
关键词:FT-IR化学结构成膜机理
铜上采用过渡层沉积类金刚石薄膜的研究被引量:4
2006年
将等离子增强非平衡磁控溅射物理气相沉积(PEUMS-PVD)和电子回旋共振-微波等离子体增强化学气相沉积(MW-ECRPECVD)技术相结合,通过制备不同的过渡层,在铜基上成功地制备了类金刚石膜.拉曼光谱分析表明,所制备的碳膜具有典型的类金刚石结构特征.检测结果表明,随着沉积偏压的增大,D峰和G峰均向高波数漂移,ID/IG值增大,表面粗糙度减小,而平均硬度和弹性模量呈先增大后减小的趋势.
王静刘贵昌汲大鹏徐军邓新禄
关键词:类金刚石膜过渡层拉曼光谱
微波ECR等离子体增强磁控溅射制备SiNx薄膜及其性能分析被引量:12
2006年
利用微波ECR磁控反应溅射法在室温下制备无氢SiNx薄膜.通过傅里叶红外光谱、X射线电子谱、膜厚仪、纳米硬度仪、原子力显微镜等分析手段,分析了N2流量、Si靶溅射功率等实验参数对SiNx薄膜结构、化学配比以及机械性质的影响.结果表明,SiNx薄膜中Si-N结构、化学配比及机械性质与等离子体中的Si元素含量关系密切,随着N2流量的增加或者Si靶溅射功率的降低,等离子体中的Si元素含量降低,SiNx薄膜结构、化学配比及硬度发生变化,红外光谱发生偏移,硬度下降,沉积速率降低.
丁万昱徐军李艳琴朴勇高鹏邓新绿董闯
关键词:SINX磁控溅射
基体负偏压对SiCN薄膜结构和性能的影响
Si3N4是一种介电材料,SiC是一种半导体材料,两者的结合将可能是一种具有宽的带隙光学和电学性质的超硬材料.本文采用微波-ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术制备SiCN薄膜,并对薄膜的化学结构、力学性能进行了表征.研...
高鹏徐军朴勇丁万昱王德和董闯
关键词:非平衡磁控溅射介电材料
文献传递
通过制备Ti/TiC和Si/Si_xN_y过渡层在铜基体上沉积类金刚石膜的研究被引量:5
2006年
将磁控溅射物理气相沉积(MS-PVD)和电子回旋共振-微波等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)技术相结合,在铜基体上通过制备两种不同的过渡层,成功地沉积了类金刚石膜。拉曼光谱结果分析表明,所制备的碳膜都具有典型的类金刚石结构特征。通过原子力显微镜对薄膜的微观形貌进行分析,采用纳米压痕测量薄膜的硬度和模量。并对Ti/TiC过渡层和Si/SixNy过渡层上沉积的类金刚石薄膜进行了研究对比。
王静刘贵昌汲大鹏徐军邓新禄
关键词:类金刚石膜过渡层纳米压痕
基于可靠度的单层网壳结构临界稳定承载力计算方法
2024年
为研究基于可靠度的单层网壳结构临界稳定承载力计算方法,选取并改进随机缺陷模态叠加法,作为单层网壳结构初始几何缺陷模拟方法;结合混合阶容积公式,高效准确地计算结构稳定承载力的前四阶统计矩,进一步采用移位广义对数正态分布重构结构稳定承载力概率密度函数;并在给定目标可靠指标或失稳概率下确定单层网壳结构稳定承载力。分别采用六角星网壳模型和K8单层球面网壳结构验证了基于可靠度的临界稳定承载力计算方法的有效性,计算结果表明:采用前四阶屈曲模态叠加所获得的稳定承载力概率分布离散性更大,稳定承载力下降规律与一致模态缺陷法结果基本一致,且现行规范缺陷幅值取跨度的1/300较为保守。
徐军徐军贺拥军贺拥军
关键词:单层网壳初始几何缺陷稳定承载力概率密度函数
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